Plazmennaja technologija v proizvodstve SBIS /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Další autoři: Zolotarev, Ju. M. (Překladatel), Judin, Vladimir Vasil‘jevič (Překladatel), Einspruch, Norman G., 1932- (Editor), Brown, Dale M. (Editor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Ruština
Vydáno: Moskva : Mir, 1987.
Témata:
fyzika plazmatu
plazma (fyzika)
plasma (ionized gases)
plasma physics
monografie
Příbuzné jednotky:Přeloženo z: Plasma processing for VLSI
Obálka
Popis
Fyzický popis:469 s.
Bibliografie:Bibliografie u jednotlivých kapitol.

Podobné jednotky