Chemical mechanical planarization V : proceedings of the international symposium /
Uloženo v:
| Korporativní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Pennington, N.J. :
The electrochemical society,
2002
|
| Edice: | Electrochemical society proceedings ;
V. 2002-1 |
| Témata: |
| Fyzický popis: | vii, 274 s. |
|---|---|
| ISBN: | 1-56677-329-6 |