Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku /

V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Málek, Martin (Autor práce)
Další autoři: Ohlídal, Ivan, 1945- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2019
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/vs0g0/
Obálka
LEADER 03757ctm a22006617i 4500
001 MUB01006445854
003 CZ BrMU
005 20190723111257.0
008 190627s2019 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2019-10-29 
035 |a (ISMU-VSKP)332336 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 539  |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 539.216  |2 MRF 
080 |a (043)378.22  |2 MRF 
100 1 |a Málek, Martin  |% UČO 460984  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Optical characterization of silicon nitride thin films  |y eng 
245 1 0 |a Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku /  |c Martin Málek 
264 0 |c 2019 
300 |a xiv, 32 stran :  |b ilustrace 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Ivan Ohlídal 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2019 
520 2 |a V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty parametrů teoretického modelu a modelujeme disperzní závislost indexu lomu studovaných vzorků.  |% cze 
520 2 9 |a In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values of optical parameters and model dispersion relation of refractive index.  |9 eng 
650 0 7 |a tenké vrstvy  |7 ph126536  |2 czenas 
650 0 9 |a thin films  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
655 9 |a bachelor's theses  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika  |c PřF B-FY FYZ (FYZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Ohlídal, Ivan,  |d 1945-  |7 ola200208057  |% UČO 2397  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/vs0g0/ 
CAT |c 20190627  |l MUB01  |h 0423 
CAT |a TRENCANSKA  |b 02  |c 20190702  |l MUB01  |h 1021 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20190723  |l MUB01  |h 1112 
CAT |c 20191029  |l MUB01  |h 1054 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1019 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2340 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0054 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1034 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2020 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1311 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2019-10-29 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2019-MÁLE  |5 3145376468  |8 20190702  |f 70  |f Prezenční  |r 20190702  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2019-MÁLE  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY