Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku /
V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2019
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/vs0g0/ |
| Shrnutí: | V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty parametrů teoretického modelu a modelujeme disperzní závislost indexu lomu studovaných vzorků. In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values of optical parameters and model dispersion relation of refractive index. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Ivan Ohlídal |
| Fyzický popis: | xiv, 32 stran : ilustrace |