Širokopásmová absorpční spektroskopie /
Zaměření této práce leží ve výzkumu karbonitridačního procesu v plasmovém nitridačním reaktoru s aktivní sítí (ASPN) a monitorovacího reaktoru plasmového nitridování (PLANIMOR). Teplota plynu a koncentrace molekul v základním stavu je určena v těchto dvou typech reaktorů. V obou případech je použito...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2018
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/bajsq/ |
| Shrnutí: | Zaměření této práce leží ve výzkumu karbonitridačního procesu v plasmovém nitridačním reaktoru s aktivní sítí (ASPN) a monitorovacího reaktoru plasmového nitridování (PLANIMOR). Teplota plynu a koncentrace molekul v základním stavu je určena v těchto dvou typech reaktorů. V obou případech je použito pulzní nízkotlaké stejnosměrně buzené (DC) H₂/N₂ plasma. Teplota plynu a koncentrace je určena ze spekter infračervené spektroskopie za pomocí kvantového kaskádového laseru s vnější dutinou (EC-QCL) a nastavitelného diodového laseru (TDL). Použitím Gaussovy části Voigtova fitu byla určena teplota stabilních molekul v PLANIMORu na 320-400 K pro výkon plasmatu 16-106 W. Teplota molekuly CO, jako jediné měřené dvouatomové molekuly, je určena na 300-500 K a 400-800 K pro CH₃ radikál pro stejný rozsah výkonu. V ASPN reaktoru je teplota plynu předpokládána shodná s teplotou procesu 773 K. Dále byla krom teploty plynu taktéž určována koncentrace, a to jako funkce výkonu plazmatu, poměru plynů v r The focus of this thesis is an investigation of the nitrocarburizing process in the active screen plasma nitriding (ASPN) reactor and its linear approximation plasma nitriding monitoring reactor (PLANIMOR). In these two types of reactors, the gas temperatures and concentrations of species in ground state are determined. In both of these reactors pulsed direct current (DC) low pressure H₂/N₂ plasma is used. The gas temperature and concentration was determined by the infrared absorption spectroscopy with external cavity quantum cascade laser (EC-QCL) and tunable diode laser (TDL) as a radiation sources. By using Gaussian part of Voigt fit, the gas temperature of stable species in PLANIMOR was determined to 320-400 K for plasma power of 16-100 W. The temperature of CO as the only diatomic molecule is 300-500 K for the same power range and 400-800 K for CH₃ radical. In the ASPN reactor, the gas temperatures were assumed to be equivalent with the process temperature of 773 K. Furthermore, |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Jan Voráč |
| Fyzický popis: | xiii, 69 stran : ilustrace |