Širokopásmová absorpční spektroskopie - Kusýn, Lukáš (2018)
Zaměření této práce leží ve výzkumu karbonitridačního procesu v plasmovém nitridačním reaktoru s aktivní sítí (ASPN) a monitorovacího reaktoru plasmového nitridování (PLANIMOR). Teplota plynu a koncentrace molekul v základním stavu je určena v těchto dvou typech reaktorů. V obou případech je použito pulzní nízkotlaké stejnosměrně buzené (DC) H₂/N₂ plasma. Teplota plynu a koncentrace je určena ze spekter infračervené spektroskopie za pomocí kvantového kaskádového laseru s vnější dutinou (EC-QCL) a nastavitelného diodového laseru (TDL). Použitím Gaussovy části Voigtova fitu byla určena teplota stabilních molekul v PLANIMORu na 320-400 K pro výkon plasmatu 16-106 W. Teplota molekuly CO, jako jediné měřené dvouatomové molekuly, je určena na 300-500 K a 400-800 K pro CH₃ radikál pro stejný rozsah výkonu. V ASPN reaktoru je teplota plynu předpokládána shodná s teplotou procesu 773 K. Dále byla krom teploty plynu taktéž určována koncentrace, a to jako funkce výkonu plazmatu, poměru plynů v r