Určování optických konstant a tlouštěk tenkých vrstev nitridu křemíku /
V tejto bakalárskej práci sa zaoberáme optickou charakterizáciou nestechiometrických vrstiev nitridu kremíka. Na začiatku si zosumarizujeme základné fyzikálne princípy optiky tenkých vrstiev. Ďalej predstavíme metódy ich depozície a merania experimnetálnych dát. Pozornosť venujeme tiež teoretickému...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis Manuscript |
| Language: | Slovak |
| Published: |
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://is.muni.cz/th/pmuyo/ |
For reservations/loans of the physical document, please log in.
| Description | Status | Library | Collection | Call Number | Notes | Barcode |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Available In house loan |
Faculty of Science | ÚK volný výběr - F | K-F-2018-CSON | 3145373207 |