Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu /

V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Skopal, Petr (Autor práce)
Další autoři: Trunec, David, 1962- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2018
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/bm926/
Obálka
LEADER 03712ctm a22007457i 4500
001 MUB01006421417
003 CZ BrMU
005 20181009081051.0
008 180628s2018 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2018-10-15 
035 |a (ISMU-VSKP)311354 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 533  |x Mechanika plynů. Aeromechanika. Fyzika plazmatu  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 533.9  |2 MRF 
080 |a (043)378.22  |2 MRF 
100 1 |a Skopal, Petr  |% UČO 450997  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Simulation of cylindrical probe measurement in RF plasma  |y eng 
245 1 0 |a Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu /  |c Petr Skopal 
264 0 |c 2018 
300 |a 79 stran 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: David Trunec 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2018 
520 2 |a V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell a Monte Carlo.  |% cze 
520 2 9 |a In this thesis we perform the simulations of probe measurements in RF plazma. We study primarily probe current, particle density profiles and potential profiles for different probe voltage and different RF amplitudes in progress of RF period. The motion of particles is solved with methods Particle In Cell and Monte Carlo.  |9 eng 
650 0 7 |a diagnostické metody  |7 ph271429  |2 czenas 
650 0 7 |a fyzika plazmatu  |7 ph120429  |2 czenas 
650 0 7 |a plazma (fyzika)  |7 ph215328  |2 czenas 
650 0 9 |a diagnostic methods  |2 eczenas 
650 0 9 |a plasma (ionized gases)  |2 eczenas 
650 0 9 |a plasma physics  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
655 9 |a bachelor's theses  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika  |c PřF B-FY FYZ (FYZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Trunec, David,  |d 1962-  |7 ola2003200929  |% UČO 1597  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/bm926/ 
CAT |c 20180628  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20180702  |l MUB01  |h 1312 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20181009  |l MUB01  |h 0810 
CAT |c 20181015  |l MUB01  |h 1013 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0749 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1019 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2340 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0054 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1029 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2015 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1303 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2018-10-15 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2018-SKOP  |5 3145373098  |8 20180702  |f 70  |f Prezenční  |r 20180620  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2018-SKOP  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY