Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu /
V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2018
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/bm926/ |
| Shrnutí: | V této bakalářské práci se zabýváme simulacemi sondových měření v RF plazmatu. Studujeme převážně elektrický proud tekoucí na sondu, profily koncentrací částic i průběh potenciálu pro různá napětí na sondě i různé RF amplitudy v průběhu RF periody. Pohyb částic je řešen pomocí metod Particle In Cell a Monte Carlo. In this thesis we perform the simulations of probe measurements in RF plazma. We study primarily probe current, particle density profiles and potential profiles for different probe voltage and different RF amplitudes in progress of RF period. The motion of particles is solved with methods Particle In Cell and Monte Carlo. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: David Trunec |
| Fyzický popis: | 79 stran |