Studium růstu uhlíkových nanotrubek a jejich funkcionalizace /

Tato bakalářská práce je věnována studiu růstu uhlíkových nanotrubek (CNTs) metodou chemické depozice z plynné fáze (CVD) a jejich funkcionalizací pomocí depozice oxidu titaničitého (TiO₂) po atomárních vrstvách (ALD) a pomocí plazmové CVD (PECVD) z cyklopropylaminu (CPA). Růst CNTs probíhal na křem...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Michal, Lukáš (Autor práce)
Další autoři: Zajíčková, Lenka, 1971- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2018
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/pmuk9/
Obálka
LEADER 04995ctm a22007097i 4500
001 MUB01006421129
003 CZ BrMU
005 20181003122456.0
008 180626s2018 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2018-10-15 
035 |a (ISMU-VSKP)314283 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 620.1/.2  |x Nauka o materiálu  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 620.2-022.532-462  |2 MRF 
080 |a (043)378.22  |2 MRF 
100 1 |a Michal, Lukáš  |% UČO 450957  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Study of carbon nanotubes growth and their functionalization  |y eng 
245 1 0 |a Studium růstu uhlíkových nanotrubek a jejich funkcionalizace /  |c Lukáš Michal 
264 0 |c 2018 
300 |a 29 listů 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Lenka Zajíčková 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2018 
520 2 |a Tato bakalářská práce je věnována studiu růstu uhlíkových nanotrubek (CNTs) metodou chemické depozice z plynné fáze (CVD) a jejich funkcionalizací pomocí depozice oxidu titaničitého (TiO₂) po atomárních vrstvách (ALD) a pomocí plazmové CVD (PECVD) z cyklopropylaminu (CPA). Růst CNTs probíhal na křemíkových destičkách s nadeponovanou 200 nm vrstvou oxidu křemičitého (SiO₂) a na křemíkových destičkách, z nichž byl přirozený oxid odstraněn. U obou druhů destiček byla jako katalyzátor použita tenká vrstva železa připravená napařováním elektronových svazkem. Vzorky byly analyzovány Ramanovou spektroskopií, rastrovacím elektronovým mikroskopem a rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií. Byl studován vliv přítomnosti vrstvy SiO₂, vliv různé tloušťky katalyzátoru a vliv různé teploty na růst CNTs. Dále byl studován vliv různých depozičních módů a počtu cyklů při ALD přípravě TiO₂ vrstev. Funkcionalizace CNTs se podařila prokázat u obou použitých metod ALD TiO2 i PECVD z CPA.  |% cze 
520 2 9 |a This thesis deals with the study of the growth of carbon nanotubes (CNTs) by chemical vapor deposition (CVD) and their functionalization by the atomic layer deposition (ALD) of titanium dioxide (TiO₂) and by plasma enhanced CVD (PECVD) from cyclopropylamine (CPA). The growth of CNTs was carried out on silicon substrates with deposited 200 nm thick silicon dioxide (SiO₂) layer and on the silicon substrates from which the native oxide was removed. An iron thin film prepared by electron beam evaporation was used as the CNTs catalyst for both the substrate types. The samples were analyzed by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. The influence of the presence of the SiO₂ layer, the influence of different catalyst thickness and the influence of different temperatures on the growth of CNTs were studied. Additionally, the various deposition modes and the number of cycles during ALD of TiO₂ were investigated.  |9 eng 
650 0 7 |a nanotrubky  |7 ph615515  |2 czenas 
650 0 9 |a nanotubes  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
655 9 |a bachelor's theses  |2 eczenas 
658 |a Aplikovaná fyzika  |b Nanotechnologie - aplikovaná fyzika  |c PřF B-AF NAN (NAN)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Zajíčková, Lenka,  |d 1971-  |7 mub2011667022  |% UČO 1414  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/pmuk9/ 
CAT |c 20180626  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20180702  |l MUB01  |h 1130 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20181003  |l MUB01  |h 1224 
CAT |c 20181015  |l MUB01  |h 1013 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1018 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2340 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0054 
CAT |a VACOVAX  |b 02  |c 20201113  |l MUB01  |h 1314 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210219  |l MUB01  |h 0000 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1029 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2015 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1303 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2018-10-15 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVMA  |b ÚK volný výběr - M  |3 K-F-2018-MICH  |5 3145373092  |8 20180702  |f 70  |f Prezenční  |r 20180620  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - M  |d K-F-2018-MICH  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVMA