Studium růstu uhlíkových nanotrubek a jejich funkcionalizace - Michal, Lukáš (2018)
Tato bakalářská práce je věnována studiu růstu uhlíkových nanotrubek (CNTs) metodou chemické depozice z plynné fáze (CVD) a jejich funkcionalizací pomocí depozice oxidu titaničitého (TiO₂) po atomárních vrstvách (ALD) a pomocí plazmové CVD (PECVD) z cyklopropylaminu (CPA). Růst CNTs probíhal na křemíkových destičkách s nadeponovanou 200 nm vrstvou oxidu křemičitého (SiO₂) a na křemíkových destičkách, z nichž byl přirozený oxid odstraněn. U obou druhů destiček byla jako katalyzátor použita tenká vrstva železa připravená napařováním elektronových svazkem. Vzorky byly analyzovány Ramanovou spektroskopií, rastrovacím elektronovým mikroskopem a rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií. Byl studován vliv přítomnosti vrstvy SiO₂, vliv různé tloušťky katalyzátoru a vliv různé teploty na růst CNTs. Dále byl studován vliv různých depozičních módů a počtu cyklů při ALD přípravě TiO₂ vrstev. Funkcionalizace CNTs se podařila prokázat u obou použitých metod ALD TiO2 i PECVD z CPA.