Combined ab initio and experimental study of transition metal oxides /
Tato disertační práce se věnuje vlastnostem oxidů přechodných kovů, konkrétně TiO2 , HfO2 a směsných oxidů TixM1−xO2 (kde M = Si, Ge, Zr a Hf). Trendy ve strukturních, elektronických a optických vlastnostech zkoumaných materiálů v závislosti na jejich složení jsou zkoumány za pomoci ab initio výpočt...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2018
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/vgtni/ |
| Shrnutí: | Tato disertační práce se věnuje vlastnostem oxidů přechodných kovů, konkrétně TiO2 , HfO2 a směsných oxidů TixM1−xO2 (kde M = Si, Ge, Zr a Hf). Trendy ve strukturních, elektronických a optických vlastnostech zkoumaných materiálů v závislosti na jejich složení jsou zkoumány za pomoci ab initio výpočtů prom amorfní i krystalické fáze. Experimentální část obsahuje spektrofotometrická a elipsometrická měření optických vlastností tenkých vrstev TixSi1−xO2, které byly připraveny pomocí plazmochemických metod (PECVD a PEALD). Poslední část práce se zabývá problémem částečné separace TiO2 a SiO2 fází v TixSi1−xO2 a s pomocí ab initio metod nastiňuje možnosti pro její kvantifikaci za použití metody XPS. The structure and properties of transition metal oxides, specifically TiO2, HfO2 and mixed TixM1−xO2 (where M=Si, Ge, Zr, and Hf) are studied in this thesis. Ab initio calculations are used in order to explore the composition dependent trends in the structural, electronic and optical properties of the crystalline solid solutions and amorphous phases of the studied materials. The complementary experimental part contains spectrophotometry and ellipsometry measurements of optical properties of TixSi1−xO2 thin films prepared by plasma technologies (PECVD and PEALD). The last part of this thesis is focused on the phenomenon of TiO2 and SiO2 partial phase separation in TixSi1−xO2 and delivers some ab initio insights into the problematic of its quantificication by means of XPS. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Lenka Zajíčková Vedoucí práce: |
| Fyzický popis: | xvii, 132 stran : ilustrace |