Combined ab initio and experimental study of transition metal oxides - Ondračka, Pavel (2018)
Tato disertační práce se věnuje vlastnostem oxidů přechodných kovů, konkrétně TiO2 , HfO2 a směsných oxidů TixM1−xO2 (kde M = Si, Ge, Zr a Hf). Trendy ve strukturních, elektronických a optických vlastnostech zkoumaných materiálů v závislosti na jejich složení jsou zkoumány za pomoci ab initio výpočtů prom amorfní i krystalické fáze. Experimentální část obsahuje spektrofotometrická a elipsometrická měření optických vlastností tenkých vrstev TixSi1−xO2, které byly připraveny pomocí plazmochemických metod (PECVD a PEALD). Poslední část práce se zabývá problémem částečné separace TiO2 a SiO2 fází v TixSi1−xO2 a s pomocí ab initio metod nastiňuje možnosti pro její kvantifikaci za použití metody XPS.