Studium mikrodutinového dielektrického bariérového výboje pro povrchové úpravy /
V práci jsme se zaměřili na plazmový výboj s unikátní konfigurací, tzv. mikrodutinový dielektrický bariérový výboj, a zkoumali, jak se změní povrchové vlastnosti křemíku po aplikaci plazmatu. Abychom si z našich experimentů vytvořili ucelenější závěr, diagnostikovali jsme vzorek několika metodami. Z...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2017
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/437186/prif_b/ |
| Shrnutí: | V práci jsme se zaměřili na plazmový výboj s unikátní konfigurací, tzv. mikrodutinový dielektrický bariérový výboj, a zkoumali, jak se změní povrchové vlastnosti křemíku po aplikaci plazmatu. Abychom si z našich experimentů vytvořili ucelenější závěr, diagnostikovali jsme vzorek několika metodami. Základní přehled o hydrofilizaci či hydrofobizaci povrchu nám poskytlo měření kontaktních úhlů a určování povrchové energie dvoukapalinovou Owens-Wendtovou metodou. Kontaktní úhly vody a diiodometanu jsme proměřovali v závislosti na vzdálenosti křemíkového waferu od keramiky výbojky či na času plazmové úpravy. Zajímalo nás také, dostaneme-li kvalitativně odlišné výsledky, jestliže změníme některé další parametry experimentu, tj. zapálíme plazma s průtokem plynu nebo použijeme zdroj o nižším příkonu. Ve všech těchto případech jsme pozorovali snižování kontaktních úhlů a zvyšování zejména polární složky povrchové energie už při krátké době plazmové úpravy (1 s). In this work, the novel micro-hollow dielectric barrier discharge was studied. We investigated how the surface properties of silicon will change after plasma treatment and we examined silicon samples using several experimental methods in order to obtain comprehensive conclusions of the experiment. A fundamental overview of hydrophilization or hydrophobization of the surface was determined from the contact angles measurement and the calculation of surface energy using two-liquid Owens-Wendt method. The water and diiodomethane contact angles were measured depending on the distance of the silicon sample from the ceramics or the treatment time. We also investigated the quality of other parameters of our experiment, such as igniting plasma with gas flow or using a lower power source. In all these cases, the decrease of water contact angles and the increase of the polar component of surface energy was observed at a very short treatment time (1 s). |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Tomáš Homola |
| Fyzický popis: | 57 stran |