Studium mikrodutinového dielektrického bariérového výboje pro povrchové úpravy - Richter, Vít (2017)
V práci jsme se zaměřili na plazmový výboj s unikátní konfigurací, tzv. mikrodutinový dielektrický bariérový výboj, a zkoumali, jak se změní povrchové vlastnosti křemíku po aplikaci plazmatu. Abychom si z našich experimentů vytvořili ucelenější závěr, diagnostikovali jsme vzorek několika metodami. Základní přehled o hydrofilizaci či hydrofobizaci povrchu nám poskytlo měření kontaktních úhlů a určování povrchové energie dvoukapalinovou Owens-Wendtovou metodou. Kontaktní úhly vody a diiodometanu jsme proměřovali v závislosti na vzdálenosti křemíkového waferu od keramiky výbojky či na času plazmové úpravy. Zajímalo nás také, dostaneme-li kvalitativně odlišné výsledky, jestliže změníme některé další parametry experimentu, tj. zapálíme plazma s průtokem plynu nebo použijeme zdroj o nižším příkonu. Ve všech těchto případech jsme pozorovali snižování kontaktních úhlů a zvyšování zejména polární složky povrchové energie už při krátké době plazmové úpravy (1 s).