Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD /
V této diplomové práci jsem se věnoval měření tepelní stability tenkých vrstev měřením hmotnostních spekter desorbovaných plynů při různých teplotách. Měření jsem vykonával na dvou různých zařízeních. Naměrené výsledky jsem zpracovával vlastním programem.
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/373920/prif_m/ |
| LEADER | 03737ctm a22007817i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01006343500 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20150907162841.0 | ||
| 008 | 150630s2015 xr ||||| |||||||||||slo d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2016-03-09 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)253594 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 |e rda | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a (043)378.2 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Dugáček, Ján |% UČO 373920 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD / |c Ján Dugáček |
| 264 | 0 | |c 2015 | |
| 300 | |a 61 listů | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a bez média |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |a svazek |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Pavel Sťahel | ||
| 502 | |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2015 | ||
| 520 | 2 | |a V této diplomové práci jsem se věnoval měření tepelní stability tenkých vrstev měřením hmotnostních spekter desorbovaných plynů při různých teplotách. Měření jsem vykonával na dvou různých zařízeních. Naměrené výsledky jsem zpracovával vlastním programem. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In this thesis I studied the thermal stability of various thin layers by measuring the mass spectres of gases desorbed at various temperatures. The measurements were performed on two different devices. The results were evaluated using a program I created. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a diplomové práce |7 fd132022 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a master's theses |2 eczenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika plazmatu |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Sťahel, Pavel |7 mub2011665695 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyzikální elektroniky |7 xx0116219 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/373920/prif_m/ |
| CAT | |c 20150630 |l MUB01 |h 0421 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20150730 |l MUB01 |h 1412 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |a JANA |b 02 |c 20150907 |l MUB01 |h 1628 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1415 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0549 | ||
| CAT | |c 20160303 |l MUB01 |h 1235 | ||
| CAT | |c 20160308 |l MUB01 |h 1506 | ||
| CAT | |c 20160309 |l MUB01 |h 1109 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180918 |l MUB01 |h 1318 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190107 |l MUB01 |h 0117 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190522 |l MUB01 |h 0748 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20191211 |l MUB01 |h 1018 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2339 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201101 |l MUB01 |h 0053 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201126 |l MUB01 |h 0114 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210219 |l MUB01 |h 0000 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1015 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 2002 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1239 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1924 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2144 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2016-03-09 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRVFY |b ÚK volný výběr - F |3 K-F-2015-DUGÁ |5 3145365304 |8 20150730 |f 70 |f Prezenční |q 20180809 |r 20150721 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK volný výběr - F |d K-F-2015-DUGÁ |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRVFY | ||