Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem /
V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprá...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2015
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/408485/prif_b/ |
| LEADER | 04146ctm a22007817i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01006342863 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20170222234623.0 | ||
| 008 | 150625s2015 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2016-03-09 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)269756 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 |e rda | ||
| 072 | 7 | |a 537 |x Elektřina |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 537.533.35 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.793/.795 |2 MRF | ||
| 080 | |a (043)378.22 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Weiser, Adam |% UČO 408485 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem / |c Adam Weiser |
| 264 | 0 | |c 2015 | |
| 300 | |a 53 stran | ||
| 336 | |a text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a bez média |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |a svazek |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Petr Mikulík | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2015 | ||
| 520 | 2 | |a V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení optimálního nastavení pro získání kvalitního obrazu v elektronovém i iontovém režimu. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron and ion mode. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a povrchové úpravy materiálů |7 ph124452 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a skenovací elektronová mikroskopie |7 ph184823 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a scanning electron microscopy |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a surface finishing |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a bachelor's theses |2 eczenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Mikulík, Petr, |d 1969- |7 mub2013754668 |% UČO 855 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyziky kondenzovaných látek |7 mub20211110271 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/408485/prif_b/ |
| CAT | |c 20150625 |l MUB01 |h 0421 | ||
| CAT | |a DRIMLOVAX |b 02 |c 20150720 |l MUB01 |h 1244 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20150720 |l MUB01 |h 1244 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20150730 |l MUB01 |h 1133 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1414 | ||
| CAT | |a JANA |b 02 |c 20151005 |l MUB01 |h 1043 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0548 | ||
| CAT | |c 20160303 |l MUB01 |h 1234 | ||
| CAT | |c 20160308 |l MUB01 |h 1506 | ||
| CAT | |c 20160309 |l MUB01 |h 1108 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170222 |l MUB01 |h 1251 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170222 |l MUB01 |h 2346 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190108 |l MUB01 |h 0005 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2345 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201102 |l MUB01 |h 0036 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210224 |l MUB01 |h 2247 | ||
| CAT | |a DRIMLOVAX |b 02 |c 20210413 |l MUB01 |h 0912 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1015 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 2002 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1238 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221017 |l MUB01 |h 0015 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2146 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20231216 |l MUB01 |h 0107 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20240313 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20240707 |l MUB01 |h 2135 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2016-03-09 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRVFY |b ÚK volný výběr - F |3 K-F-2015-WEIS |5 3145365286 |8 20150730 |f 70 |f Prezenční |q 20180809 |r 20150721 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK volný výběr - F |d K-F-2015-WEIS |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRVFY | ||