Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem /

V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprá...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Weiser, Adam (Autor práce)
Další autoři: Mikulík, Petr, 1969- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2015
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/408485/prif_b/
Obálka
LEADER 04146ctm a22007817i 4500
001 MUB01006342863
003 CZ BrMU
005 20170222234623.0
008 150625s2015 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-03-09 
035 |a (ISMU-VSKP)269756 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004  |e rda 
072 7 |a 537  |x Elektřina  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 537.533.35  |2 MRF 
080 |a 621.793/.795  |2 MRF 
080 |a (043)378.22  |2 MRF 
100 1 |a Weiser, Adam  |% UČO 408485  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy  |y eng 
245 1 0 |a Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem /  |c Adam Weiser 
264 0 |c 2015 
300 |a 53 stran 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Vedoucí práce: Petr Mikulík 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2015 
520 2 |a V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení optimálního nastavení pro získání kvalitního obrazu v elektronovém i iontovém režimu.  |% cze 
520 2 9 |a In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron and ion mode.  |9 eng 
650 0 7 |a povrchové úpravy materiálů  |7 ph124452  |2 czenas 
650 0 7 |a skenovací elektronová mikroskopie  |7 ph184823  |2 czenas 
650 0 9 |a scanning electron microscopy  |2 eczenas 
650 0 9 |a surface finishing  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
655 9 |a bachelor's theses  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika  |c PřF B-FY FYZ (FYZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Mikulík, Petr,  |d 1969-  |7 mub2013754668  |% UČO 855  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyziky kondenzovaných látek  |7 mub20211110271  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/408485/prif_b/ 
CAT |c 20150625  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a DRIMLOVAX  |b 02  |c 20150720  |l MUB01  |h 1244 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20150720  |l MUB01  |h 1244 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20150730  |l MUB01  |h 1133 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1453 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1414 
CAT |a JANA  |b 02  |c 20151005  |l MUB01  |h 1043 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151226  |l MUB01  |h 0548 
CAT |c 20160303  |l MUB01  |h 1234 
CAT |c 20160308  |l MUB01  |h 1506 
CAT |c 20160309  |l MUB01  |h 1108 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170222  |l MUB01  |h 1251 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170222  |l MUB01  |h 2346 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190108  |l MUB01  |h 0005 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2345 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201102  |l MUB01  |h 0036 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210224  |l MUB01  |h 2247 
CAT |a DRIMLOVAX  |b 02  |c 20210413  |l MUB01  |h 0912 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1015 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 2002 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1238 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221017  |l MUB01  |h 0015 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2146 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20231216  |l MUB01  |h 0107 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20240313  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20240707  |l MUB01  |h 2135 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2016-03-09 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2015-WEIS  |5 3145365286  |8 20150730  |f 70  |f Prezenční  |q 20180809  |r 20150721  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2015-WEIS  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY