Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu

Nízkotlaké plazma je komplikované prostředí, ve kterém probíhá množství fyzikálních a chemických procesů. Cílem této práce je diagnostika kapacitně vázaného nízkotlakého výboje ve směsi vodíku a dusíku. Použité diagnostické metody jsou hmotnostní spektrometrie s možností měřit rozdělovací funkci ene...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Homola, Vojtěch (Autor práce)
Další autoři: Dvořák, Pavel, 1975- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2014
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/324099/prif_m/
Obálka
LEADER 04382ctm a22008777a 4500
001 MUB01001001558
003 CZ BrMU
005 20250909144517.0
008 140628s2014 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2021-02-08 
035 |a (ISMU-VSKP)227634 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004 
072 7 |a 533  |x Mechanika plynů. Aeromechanika. Fyzika plazmatu  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 533.9  |2 MRF 
080 |a 546.11  |2 MRF 
080 |a 546.17  |2 MRF 
100 1 |a Homola, Vojtěch  |% UČO 324099  |* [absolvent PřírF MU]  |4 dis 
242 1 0 |a Diagnostics of reactive capacitively coupled plasma  |y eng 
245 1 0 |a Diagnostika reaktivního kapacitně vázaného plazmatu  |h [rukopis] /  |c Vojtěch Homola 
260 |c 2014 
300 |a 40 l. 
500 |a Vedoucí práce: Pavel Dvořák 
502 |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2014 
520 2 |a Nízkotlaké plazma je komplikované prostředí, ve kterém probíhá množství fyzikálních a chemických procesů. Cílem této práce je diagnostika kapacitně vázaného nízkotlakého výboje ve směsi vodíku a dusíku. Použité diagnostické metody jsou hmotnostní spektrometrie s možností měřit rozdělovací funkci energie iontů, Langmuirova sonda a optická emisní spektrometrie.  |% cze 
520 2 9 |a Low pressure plasma is highly complicated environment where many physical and chemical transformations are to process. The goal of this thesis is the diagnostics of the capacitively coupled low pressure discharge in the hydrogen and nitrogen gas mixture. Author available methodics offered to use: the mass spectrometry with ion energy distribution function measuring option, Langmuir probe and optical emission spectroscopy.  |9 eng 
650 0 7 |a dusík  |7 ph119645  |2 czenas 
650 0 7 |a kapacitně vázaný výboj  |2 CZ-BrMU 
650 0 7 |a optická emisní spektrometrie  |2 CZ-BrMU 
650 0 7 |a plazma (fyzika)  |7 ph215328  |2 czenas 
650 0 7 |a vodík  |7 ph127177  |2 czenas 
650 0 9 |a capacitively coupled discharge  |2 eCZ-BrMU 
650 0 9 |a hydrogen  |2 eczenas 
650 0 9 |a nitrogen  |2 eczenas 
650 0 9 |a optical emission spectrometry  |2 eCZ-BrMU 
650 0 9 |a plasma (ionized gases)  |2 eczenas 
655 7 |a diplomové práce  |7 fd132022  |2 czenas 
655 9 |a master's theses  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika plazmatu  |c PřF N-FY PLAZ (PLAZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Dvořák, Pavel,  |d 1975-  |7 ntka172324  |% UČO 16711  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/324099/prif_m/ 
CAT |c 20140628  |l MUB01  |h 0421 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20140710  |l MUB01  |h 1008 
CAT |c 20140911  |l MUB01  |h 1614 
CAT |c 20140912  |l MUB01  |h 1109 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20141030  |l MUB01  |h 1549 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20141113  |l MUB01  |h 0712 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20141210  |l MUB01  |h 0807 
CAT |c 20150703  |l MUB01  |h 1242 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1452 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1413 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151226  |l MUB01  |h 0504 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0117 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1018 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2339 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0053 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |c 20210208  |l MUB01  |h 1138 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1010 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1958 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1230 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
CAT |a REPISOVA  |b 02  |c 20250909  |l MUB01  |h 1445 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2021-02-08 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRVFY  |b ÚK volný výběr - F  |3 K-F-2014-HOMO  |5 3145361196  |8 20140710  |f 70  |f Prezenční  |q 20180809  |r 20140606  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr - F  |d K-F-2014-HOMO  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRVFY