Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation
Tato práce se zabývá depozicí a charakterizací funkčních nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev pomocí hybridního PVD-PECVD procesu kombinujícího rozprašování titanového terče (PVD) v atmosféře tvořené směsí argonu a acetylenu jako zdroje uhlovodíku (PECVD). Depozice byly na rozdíl od literatury prová...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/175085/prif_d/ |
| LEADER | 06094ctm a22009977a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000872388 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20250904161012.0 | ||
| 008 | 130918s2013 xr ||||| |||||||||||eng d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-10-19 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)202690 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 53 |x Fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a (043.3) |2 MRF | ||
| 080 | |a 620.2-026.56 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.89:539.62 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.793 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Souček, Pavel, |d 1986- |7 mub2017974130 |% UČO 175085 |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Depozice funkčních nanokompozitních vrstev metodou PVD a jejich charakterizace |y cze |
| 245 | 1 | 0 | |a Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation |h [rukopis] / |c Pavel Souček |
| 260 | |c 2013 | ||
| 300 | |a 150 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Petr Vašina | ||
| 502 | |a Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2013 | ||
| 520 | 2 | |a Tato práce se zabývá depozicí a charakterizací funkčních nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev pomocí hybridního PVD-PECVD procesu kombinujícího rozprašování titanového terče (PVD) v atmosféře tvořené směsí argonu a acetylenu jako zdroje uhlovodíku (PECVD). Depozice byly na rozdíl od literatury prováděné za zvýšené teploty ~ 320 °C. Je představen časový vývoj toho depozičního procesu. Ve vyvážené konfiguraci magnetického pole po optimalizaci depozičních parametrů byly připraveny supertvrdé vrstvy s dobrou adhezí k substrátům z rychlořezné oceli a tvrdokovu. Tyto vrstvy byly dále analyzovány z hlediska chemického složení a mikrostruktury, detailně jsou rozebírány mechanické vlastnosti těchto vrstev. Byla navržena a otestována metoda hloubkové charakterizace mechanických vlastností pomocí běžného indentoru a chemického složení pomocí měření přes kulový vrchlík vybroušený do vrstvy pomocí kalotestu. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a This work is focused on the deposition and characterization of functional nanocomposite nc-TiC/a-C:H films deposited using a hybrid PVD-PECVD process combining sputtering of titanium target (PVD) in an argon/acetylene atmosphere as a source of carbon (PECVD). Contrary to the literature, the depositions were carried out at elevated temperature ~ 320 °C. The time evolution of the process is presented. Super-hard films well adherent to steel and cermet substrates were prepared in a well balanced magnetic field configuration after deposition parameters optimization. These films were characterised with focus on the chemical composition and microstructure, mechanical properties are discussed in detail. A depth-resolved method of mechanical properties analysis with a standard indenter and of chemical composition analysis using measurements on a spherical cap made by a calotester was presented and tested. The in-depth (and therefore in-time) evolution of the mechanical properties and chemica |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a depozice tenkých vrstev |7 ph541607 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a iontový bombard |2 CZ-BrMU |
| 650 | 0 | 7 | |a magnetronové naprašování |2 CZ-BrMU |
| 650 | 0 | 7 | |a mechanické vlastnosti materiálů |7 ph747763 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tribologické vlastnosti materiálů |2 CZ-BrMU |
| 650 | 0 | 9 | |a ion bombardment |2 eCZ-BrMU |
| 650 | 0 | 9 | |a magnetron sputtering |2 eCZ-BrMU |
| 650 | 0 | 9 | |a mechanical properties of materials |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin film deposition |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a tribological properties of materials |2 eCZ-BrMU |
| 655 | 7 | |a disertace |7 fd132024 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a dissertations |2 eczenas | |
| 658 | |a Fyzika (čtyřleté) |b Fyzika plazmatu |c PřF D-FY4 FYPZ (FYPZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Vašina, Petr, |d 1979- |7 mub2011669170 |% UČO 21782 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav fyzikální elektroniky |7 xx0116219 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/175085/prif_d/ |
| CAT | |c 20130918 |l MUB01 |h 0422 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131217 |l MUB01 |h 1351 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20140116 |l MUB01 |h 1444 | ||
| CAT | |a HOLA |b 02 |c 20140211 |l MUB01 |h 1147 | ||
| CAT | |a HOLA |b 02 |c 20140211 |l MUB01 |h 1147 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20140527 |l MUB01 |h 0744 | ||
| CAT | |c 20140911 |l MUB01 |h 1613 | ||
| CAT | |c 20140912 |l MUB01 |h 1107 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141113 |l MUB01 |h 0712 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20141210 |l MUB01 |h 0807 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1227 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1451 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1412 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0418 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170829 |l MUB01 |h 0009 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170925 |l MUB01 |h 1626 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20171206 |l MUB01 |h 1443 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180918 |l MUB01 |h 1318 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190107 |l MUB01 |h 0117 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190522 |l MUB01 |h 0748 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20191211 |l MUB01 |h 1018 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20200323 |l MUB01 |h 2339 | ||
| CAT | |c 20201019 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20201027 |l MUB01 |h 1201 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201101 |l MUB01 |h 0053 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201126 |l MUB01 |h 0114 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2357 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2358 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210218 |l MUB01 |h 2359 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1006 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1954 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1224 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1924 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20221014 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a FUKSOVAX |b 02 |c 20230712 |l MUB01 |h 1121 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2144 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20231009 |l MUB01 |h 2139 | ||
| CAT | |a REPISOVA |b 02 |c 20250904 |l MUB01 |h 1610 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-10-19 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12821 |5 3145359817 |8 20140116 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20130926 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12821 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||