Deposition of functional nanocomposite coatings by PVD and their characterisation
Tato práce se zabývá depozicí a charakterizací funkčních nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev pomocí hybridního PVD-PECVD procesu kombinujícího rozprašování titanového terče (PVD) v atmosféře tvořené směsí argonu a acetylenu jako zdroje uhlovodíku (PECVD). Depozice byly na rozdíl od literatury prová...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/175085/prif_d/ |
| Shrnutí: | Tato práce se zabývá depozicí a charakterizací funkčních nanokompozitních nc-TiC/a-C:H vrstev pomocí hybridního PVD-PECVD procesu kombinujícího rozprašování titanového terče (PVD) v atmosféře tvořené směsí argonu a acetylenu jako zdroje uhlovodíku (PECVD). Depozice byly na rozdíl od literatury prováděné za zvýšené teploty ~ 320 °C. Je představen časový vývoj toho depozičního procesu. Ve vyvážené konfiguraci magnetického pole po optimalizaci depozičních parametrů byly připraveny supertvrdé vrstvy s dobrou adhezí k substrátům z rychlořezné oceli a tvrdokovu. Tyto vrstvy byly dále analyzovány z hlediska chemického složení a mikrostruktury, detailně jsou rozebírány mechanické vlastnosti těchto vrstev. Byla navržena a otestována metoda hloubkové charakterizace mechanických vlastností pomocí běžného indentoru a chemického složení pomocí měření přes kulový vrchlík vybroušený do vrstvy pomocí kalotestu. This work is focused on the deposition and characterization of functional nanocomposite nc-TiC/a-C:H films deposited using a hybrid PVD-PECVD process combining sputtering of titanium target (PVD) in an argon/acetylene atmosphere as a source of carbon (PECVD). Contrary to the literature, the depositions were carried out at elevated temperature ~ 320 °C. The time evolution of the process is presented. Super-hard films well adherent to steel and cermet substrates were prepared in a well balanced magnetic field configuration after deposition parameters optimization. These films were characterised with focus on the chemical composition and microstructure, mechanical properties are discussed in detail. A depth-resolved method of mechanical properties analysis with a standard indenter and of chemical composition analysis using measurements on a spherical cap made by a calotester was presented and tested. The in-depth (and therefore in-time) evolution of the mechanical properties and chemica |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Petr Vašina |
| Fyzický popis: | 150 l. |