Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace
Táto bakalárska práca sa venuje magnetrónovému naprašovaniu budenému pulzmi veľkého výkonu. Prvá časť sa zaoberá fyzikálnymi princípmi magnetrónového naprašovania, magnetickým poľom magnetrónu, metódami vzniku iónov z rozprášených častíc a spektrami atómov. V praktickej časti sú porovnané opticko em...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/376265/prif_b/ |
| Shrnutí: | Táto bakalárska práca sa venuje magnetrónovému naprašovaniu budenému pulzmi veľkého výkonu. Prvá časť sa zaoberá fyzikálnymi princípmi magnetrónového naprašovania, magnetickým poľom magnetrónu, metódami vzniku iónov z rozprášených častíc a spektrami atómov. V praktickej časti sú porovnané opticko emisné spektrá DC výboja a výboja vytváraného pulzmi veľkého výkonu. Sú tu sledované intenzity vybraných spektrálnych čiar. Skúmaný je vplyv prietoku argónu na výboj budený pulzmi veľkého výkonu. Pozorovaný je vývoj výbojového prúdu a napätia v čase pre rôzne parametre výboja. Práca sa tiež zaoberá prechodmi medzi energickými stavmi atómov a iónov titánu. This thesis is dedicated to high power impulse magnetron sputtering. First part is concerned with physical priciples of magnetron sputtering, magnetic field of magnetron, techniques of formation ions of sputtered particles ana spectrums of atoms. In practical part are compared optical emission spectrums of DC discharge and dischage made by high power impulse. There are monitored intensities of selected spectral lines. There is examined impact of flow of argon on discharge made by high power impulse. There is observed progress of discharge current and voltage in time for various arguments of discharge. This thesis deals also with transition between energetic states of atoms and ions of titan. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Petr Vašina |
| Fyzický popis: | 34 l. |