Advanced Digital Methods for Precise Measurement of Length
Tato práce se zabývá číslicovým zpracováním interferenčního signálu v laserové interferometrii, konkrétně v oblasti přesného odměřování geometrických veličin. Na poli optických měřicích metod představuje laserová interferometrie nejpřesnější techniku měření vzdálenosti s rozlišením v řádu nanometrů....
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/60382/fi_d/ |
| Shrnutí: | Tato práce se zabývá číslicovým zpracováním interferenčního signálu v laserové interferometrii, konkrétně v oblasti přesného odměřování geometrických veličin. Na poli optických měřicích metod představuje laserová interferometrie nejpřesnější techniku měření vzdálenosti s rozlišením v řádu nanometrů. Dosažení takové přesnosti vyžaduje zpracování s pomocí složitého detekčního optického hardwarového vybavení, které je navíc mechanicky citlivé a celkově náročné na výrobu i provoz. Cílem práce bylo navrhnout detekční metodu, která by umožnila nahradit toto optické zpracování sadou algoritmů v číslicovém výpočetním prostředí. Řešení zahrnuje dvě klíčové části: algoritmy pro zjištění momentálního fázového posunu interferujícíh svazků (tzv. interferenční fáze) z výstupního signálu interferometru a dále sadu algoritmů pro kompenzaci chyb vzniklých při aplikaci metody do laboratorního měřicího systému. Jednotlivé části metody jsou popsány pomocí pseudo-algoritmického jazyka. Korektnost je proká This thesis deals with digital processing of interference signal in laser interferometry dedicated to high-resolution measurements of length. Among the optical measurement techniques, the laser interferometry provides the best performance for the length measurement at a nanometre scale. An achievment of such an ultimate resolution requires an expensive complex and sensitive underlying optical hardware for processing of the interference signal. In this work, I present a novel algorithm, called \techname{}, that allows processing of the interference signal with minimal hardware demands. The objective was to design a collection of algorithms that will replace the demanding optical hardware procesing (represented by a traditional homodyne detection technique) by the means of processing in a digital computing environment. My solution had two pillars: the algorithms for extraction of the interference phase data from the interference signal and the algorithm for compensation of measurement e |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Václav Přenosil |
| Fyzický popis: | xi, 113 s. |