Advanced Digital Methods for Precise Measurement of Length - Řeřucha, Šimon; Přenosil, Václav, 1952-; Masarykova univerzita. Katedra informačních technologií (2012)
Tato práce se zabývá číslicovým zpracováním interferenčního signálu v laserové interferometrii, konkrétně v oblasti přesného odměřování geometrických veličin. Na poli optických měřicích metod představuje laserová interferometrie nejpřesnější techniku měření vzdálenosti s rozlišením v řádu nanometrů. Dosažení takové přesnosti vyžaduje zpracování s pomocí složitého detekčního optického hardwarového vybavení, které je navíc mechanicky citlivé a celkově náročné na výrobu i provoz. Cílem práce bylo navrhnout detekční metodu, která by umožnila nahradit toto optické zpracování sadou algoritmů v číslicovém výpočetním prostředí. Řešení zahrnuje dvě klíčové části: algoritmy pro zjištění momentálního fázového posunu interferujícíh svazků (tzv. interferenční fáze) z výstupního signálu interferometru a dále sadu algoritmů pro kompenzaci chyb vzniklých při aplikaci metody do laboratorního měřicího systému. Jednotlivé části metody jsou popsány pomocí pseudo-algoritmického jazyka. Korektnost je proká
This thesis deals with digital processing of interference signal in laser interferometry dedicated to high-resolution measurements of length. Among the optical measurement techniques, the laser interferometry provides the best performance for the length measurement at a nanometre scale. An achievment of such an ultimate resolution requires an expensive complex and sensitive underlying optical hardware for processing of the interference signal. In this work, I present a novel algorithm, called \techname{}, that allows processing of the interference signal with minimal hardware demands. The objective was to design a collection of algorithms that will replace the demanding optical hardware procesing (represented by a traditional homodyne detection technique) by the means of processing in a digital computing environment. My solution had two pillars: the algorithms for extraction of the interference phase data from the interference signal and the algorithm for compensation of measurement e
Vedoucí práce: Václav Přenosil
Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Fakulta informatiky, 2012
Keywords: interferometrie; výpočetní technika; digitální zpracování signálů; algoritmy (programování); computer algorithms; computer science; computer technology; interferometry; digital signal processing; disertace; dissertations