Studium mechanických vlastností tenkých vrstev

Práce je věnována studiu a popisu metod umožňujících stanovení materiálových parametrů tenkých vrstev, jako jsou např. tvrdost, elastický modul, vnitřní pnutí, adheze vrstev k substrátům, otěruvzdornost, koeficient tření, lomovou houževnatost, atd a to včetně historického vývoje. Největší důraz je k...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Novotný, Tomáš (Autor práce)
Další autoři: Buršíková, Vilma, 1960- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2012
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/211366/prif_m/
Obálka
LEADER 04932ctm a22008777a 4500
001 MUB01000721904
003 CZ BrMU
005 20140905134343.0
008 120630s2012 xr ||||| |||||||||||cze d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2020-05-07 
035 |a (ISMU-VSKP)207651 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004 
072 7 |a 620.1/.2  |x Nauka o materiálu  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 620.2-026.56  |2 MRF 
080 |a 539.216  |2 MRF 
100 1 |a Novotný, Tomáš  |% UČO 211366  |* [absolvent PřírF MU, fyz. elektronika]  |4 dis 
242 1 0 |a Study of mechanical properties of thin films  |y eng 
245 1 0 |a Studium mechanických vlastností tenkých vrstev  |h [rukopis] /  |c Tomáš Novotný 
260 |c 2012 
300 |a 78 l. 
500 |a Vedoucí práce: Vilma Buršíková 
502 |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2012 
520 2 |a Práce je věnována studiu a popisu metod umožňujících stanovení materiálových parametrů tenkých vrstev, jako jsou např. tvrdost, elastický modul, vnitřní pnutí, adheze vrstev k substrátům, otěruvzdornost, koeficient tření, lomovou houževnatost, atd a to včetně historického vývoje. Největší důraz je kladen na metodu instrumentované indentace (DSI), u které je popsána teorie určování charakteristik a i možné problémy při jejich určování. Uvedeme i současné komerční přístroje, které používají metodu DSI. V závěru bude uvedeno několik měření různých tenkých vrstev, u kterých budeme diskutovat jejich parametry.  |% cze 
520 2 9 |a In this thesis we will describe methods, which enable the determination of mechanical properties of thin films, such the hardness, elastic modulus, internal stress, adhesion of the films to the substrates, wear resistance, friction coefficient, fracture toughness, etc. Also we will look into history of measuring mechanical properties. The main focus will be on the instrumented indentation method (DSI), it's theory and problems that they can occur. We also mention present commercial instruments based on DSi method. At the end we will present measurments of several different thin layers and we will discuss their parameters.  |9 eng 
650 0 7 |a mechanické vlastnosti materiálů  |7 ph747763  |2 czenas 
650 0 7 |a tenké vrstvy  |7 ph126536  |2 czenas 
650 0 9 |a mechanical properties of materials  |2 eczenas 
650 0 9 |a thin films  |2 eczenas 
655 7 |a diplomové práce  |7 fd132022  |2 czenas 
658 |a Fyzika  |b Učitelství fyziky pro střední školy  |c PřF N-FY UM, UF (UF)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Buršíková, Vilma,  |d 1960-  |7 mzk2005269916  |% UČO 2418  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Ústav fyzikální elektroniky  |7 xx0116219  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/211366/prif_m/ 
CAT |c 20120630  |l MUB01  |h 0422 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20120713  |l MUB01  |h 1059 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20130130  |l MUB01  |h 1017 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20130218  |l MUB01  |h 1432 
CAT |a NOVAKOVA  |b 02  |c 20130225  |l MUB01  |h 1451 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130304  |l MUB01  |h 1434 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20140527  |l MUB01  |h 0744 
CAT |a FUKSOVAX  |b 02  |c 20140905  |l MUB01  |h 1343 
CAT |c 20140911  |l MUB01  |h 1610 
CAT |c 20140912  |l MUB01  |h 1104 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20141113  |l MUB01  |h 0712 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20141210  |l MUB01  |h 0807 
CAT |c 20150703  |l MUB01  |h 1206 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1449 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1410 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151226  |l MUB01  |h 0245 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170925  |l MUB01  |h 1610 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20171219  |l MUB01  |h 1210 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180918  |l MUB01  |h 1318 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190107  |l MUB01  |h 0116 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190522  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20191211  |l MUB01  |h 1017 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20200323  |l MUB01  |h 2339 
CAT |c 20200507  |l MUB01  |h 1114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201101  |l MUB01  |h 0053 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201126  |l MUB01  |h 0114 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2357 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2358 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210218  |l MUB01  |h 2359 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0959 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1948 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1215 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20211115  |l MUB01  |h 1616 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1924 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20221014  |l MUB01  |h 1925 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2144 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230919  |l MUB01  |h 2216 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2020-05-07 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRSFY  |b ÚK sklad - F  |3 K-12744  |5 3145356791  |8 20130130  |f 71  |f Prezenční SKLAD  |q 20180809  |r 20130130  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK sklad - F  |d K-12744  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRSFY