Studium termální stability diamantu-podobných tenkých vrstev modifikovaných křemíkem, kyslíkem a dusíkem
Cílem této diplomové práce bylo studovat termální stabilitu diamantu-podobných vrstev modifikovaných křemíkem a kyslíkem. K dispozici jsme měli dvě sady vzorků s různým obsahem křemíku a kyslíku, které byly deponované na křemíkový substrát metodou PECVD. Také jsme měli referenční sadu s čistým DLC a...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/256232/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12776 | 3145355463 |