Simulace elektrického pole a proudění směsi plynů v mikrovlnném pochodňovém výboji

Tato bakalářská práce se věnuje simulacím mikrovlnného elektromagnetického pole a proudění neutrálního plynu v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosferického tlaku. Simulace jsou prováděny metodou konečných prvků ve dvourozměrné nebo trojrozměrné geometrii blízké experimentálnímu uspořádání. V prá...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Obrusník, Adam (Autor práce)
Další autoři: Zajíčková, Lenka, 1971- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Angličtina
Vydáno: 2012
Témata:
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/356468/prif_b/
Obálka
LEADER 05249ctm a22008537a 4500
001 MUB01000721095
003 CZ BrMU
005 20200810085146.0
008 120626s2012 xr ||||| |||||||||||eng d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2020-05-07 
035 |a (ISMU-VSKP)230882 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004 
072 7 |a 53  |x Fyzika  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 519.63  |2 MRF 
080 |a 533.6.011  |2 MRF 
080 |a 537.212  |2 MRF 
100 1 |a Obrusník, Adam  |7 mzk2015887942  |% UČO 356468  |4 dis 
242 1 0 |a Simulations of electric field and gas flow in microwave plasma torch  |y eng 
245 1 0 |a Simulace elektrického pole a proudění směsi plynů v mikrovlnném pochodňovém výboji  |h [rukopis] /  |c Adam Obrusník 
260 |c 2012 
300 |a 62 l. 
500 |a Vedoucí práce: Lenka Zajíčková 
502 |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2012 
520 2 |a Tato bakalářská práce se věnuje simulacím mikrovlnného elektromagnetického pole a proudění neutrálního plynu v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosferického tlaku. Simulace jsou prováděny metodou konečných prvků ve dvourozměrné nebo trojrozměrné geometrii blízké experimentálnímu uspořádání. V práci se využívá profesionálního simulačního software COMSOL Multiphysics a jeho modulů, Radio Frequency, Fluid Flow a Heat Transfer. Simulace proudění plynu popisují turbulentní neziotermální proudění nehomogenní směsi Ar/H2 v depoziční komoře. Dále je analyzován vliv depozičních parametrů (výkon, průtok vodíku) na teplotu a složení plynu. V případě simulací elektromagnetického pole je hlavním cílem navrhnout nové zařízení pro mikrovlnný pochodňový výboj. Výsledky simulací jsou do určité míry porovnány s experimentem.  |% cze 
520 2 9 |a This bachelor thesis focuses microwave electromagnetic field and neutral gas flow simulations in an atmospheric pressure microwave plasma torch. The simulations are performed using the finite element method in close-to-real geometry in two or three dimensions. Professional simulation software, COMSOL Multiphysics, along with its Radio Frequency, Fluid Flow and Heat transfer modules was employed. The neutral gas simulations describe turbulent non-isothermal flow of an inhomogeneous Ar/H2 mixture in the discharge chamber. In addition, the influence of the deposition parameters (input power, hydrogen flow rate) on the temperature and local gas composition is analyzed. As regards the electromagnetic field simulations, the main aim is to design a new microwave plasma torch. The simulation results are compared to experiment to limited extent.  |9 eng 
650 0 7 |a elektrické pole  |7 ph172849  |2 czenas 
650 0 7 |a metoda konečných prvků  |7 ph115272  |2 czenas 
650 0 7 |a proudění plynů  |7 ph361976  |2 czenas 
650 0 9 |a electric field  |2 eczenas 
650 0 9 |a finite element method  |2 eczenas 
650 0 9 |a gas flow  |2 eczenas 
655 7 |a bakalářské práce  |7 fd132403  |2 czenas 
658 |a Fyzika  |b Fyzika  |c PřF B-FY FYZ (FYZ)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Zajíčková, Lenka,  |d 1971-  |7 mub2011667022  |% UČO 1414  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Přírodovědecká fakulta.  |b Fyzikální sekce  |7 kn20020321517  |4 dgg 
856 4 1 |u http://is.muni.cz/th/356468/prif_b/ 
CAT |c 20120626  |l MUB01  |h 0423 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120712  |l MUB01  |h 1340 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120718  |l MUB01  |h 0823 
CAT |a RACLAVSKA  |b 02  |c 20120720  |l MUB01  |h 1446 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120726  |l MUB01  |h 1016 
CAT |a NOVAKOVA  |b 02  |c 20120828  |l MUB01  |h 1349 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20121008  |l MUB01  |h 2227 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130304  |l MUB01  |h 1432 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20130730  |l MUB01  |h 0746 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20140115  |l MUB01  |h 1227 
CAT |c 20140911  |l MUB01  |h 1609 
CAT |c 20140912  |l MUB01  |h 1103 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1449 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1410 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20151221  |l MUB01  |h 1056 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151226  |l MUB01  |h 0244 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20160906  |l MUB01  |h 1347 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1454 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1505 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190109  |l MUB01  |h 1226 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0937 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0941 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0953 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190227  |l MUB01  |h 0752 
CAT |c 20200507  |l MUB01  |h 1113 
CAT |a PUTNOVAX  |b 02  |c 20200810  |l MUB01  |h 0851 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201030  |l MUB01  |h 0223 
CAT |a VACOVAX  |b 02  |c 20201113  |l MUB01  |h 1314 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0959 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1948 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1214 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210819  |l MUB01  |h 1726 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230108  |l MUB01  |h 2332 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2127 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2020-05-07 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRSFY  |b ÚK sklad - F  |3 K-12740  |5 3145355494  |8 20120720  |f 71  |f Prezenční SKLAD  |q 20180809  |r 20120720  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK sklad - F  |d K-12740  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRSFY