Simulace elektrického pole a proudění směsi plynů v mikrovlnném pochodňovém výboji - Obrusník, Adam (2012)
Tato bakalářská práce se věnuje simulacím mikrovlnného elektromagnetického pole a proudění neutrálního plynu v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosferického tlaku. Simulace jsou prováděny metodou konečných prvků ve dvourozměrné nebo trojrozměrné geometrii blízké experimentálnímu uspořádání. V práci se využívá profesionálního simulačního software COMSOL Multiphysics a jeho modulů, Radio Frequency, Fluid Flow a Heat Transfer. Simulace proudění plynu popisují turbulentní neziotermální proudění nehomogenní směsi Ar/H2 v depoziční komoře. Dále je analyzován vliv depozičních parametrů (výkon, průtok vodíku) na teplotu a složení plynu. V případě simulací elektromagnetického pole je hlavním cílem navrhnout nové zařízení pro mikrovlnný pochodňový výboj. Výsledky simulací jsou do určité míry porovnány s experimentem.