Vyšší harmonické frekvence v reaktivním a prašném plazmatu
V této bakalářské práci se věnujeme studiu závislosti elektrických parametrů, tj. napětí, proudu a jejich vyšším harmonickým frekvencím v plazmatu na různých veličinách a snažíme se zjistit, zda přítomnost prachových částic nějak ovlivní jejich chování. Součástí práce je rovněž popis závislosti množ...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/357291/prif_b/ |
| Shrnutí: | V této bakalářské práci se věnujeme studiu závislosti elektrických parametrů, tj. napětí, proudu a jejich vyšším harmonickým frekvencím v plazmatu na různých veličinách a snažíme se zjistit, zda přítomnost prachových částic nějak ovlivní jejich chování. Součástí práce je rovněž popis závislosti množství detekováného prachu pro různé podmínky (průtoky jednotlivých složek plynu do reaktoru, výkon generátoru). Jeho jednoznačný vliv na harmonické frekvence však zjištěn nebyl. Byly zjištěny možné projevy probíhající delaminace nadeponované vrstvy. In this thesis we study dependence of higher harmonic frequencies generated in plasma on discharge parameters and we searched their reaction on creation of dust in plasma. A constituent of this thesis is description of detected dust quantity for different conditions (fluxes of gases into reactor, power of generator). There was not found any effect of dust on higher harmonics unambiguously. A reaction of higher harmonics on delamination of depozited layer was found. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Pavel Dvořák |
| Fyzický popis: | 47 l. + 1 CD-ROM |