Určování pnutí v tenkých vrstvách
Obsahom tejto práce je opis experimentov, ktoré viedli k určeniu napätia v tenkých CN_X vrstvách deponovaných na Si substráte s orientáciou (001). Teoretická časť sa zaoberá všeobecným rozborom napätia a deformácie kontinua a vzťahu medzi nimi. Na základe tohto rozboru je potom vysvetlený Stoneyho v...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Slovenština |
| Vydáno: |
2012
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/324150/prif_b/ |
| LEADER | 04012ctm a22007817a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000721040 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20161106231524.0 | ||
| 008 | 120626s2012 xr ||||| |||||||||||slo d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-05-07 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)208974 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.319 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Hronček, Miloš |% UČO 324150 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Strain analysis in thin layers |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Určování pnutí v tenkých vrstvách |h [rukopis] / |c Miloš Hronček |
| 260 | |c 2012 | ||
| 300 | |a 55 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Ondřej Caha | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2012 | ||
| 520 | 2 | |a Obsahom tejto práce je opis experimentov, ktoré viedli k určeniu napätia v tenkých CN_X vrstvách deponovaných na Si substráte s orientáciou (001). Teoretická časť sa zaoberá všeobecným rozborom napätia a deformácie kontinua a vzťahu medzi nimi. Na základe tohto rozboru je potom vysvetlený Stoneyho vzťah. Experimentálna časť opisuje meranie krivosti pomocou RTG difrakcie. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a The content of this work is description of experiments that led to the identification of stress in thin CN_X films deposited on Si substrate with (001) orientation. The theoretical part deals with the general analysis of stress and deformation of the continuum and the relationship between them. The explanation of the Stoney’s equation is then based on this analysis. Experimental section describes the curvature measurement by X-ray diffraction. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a napětí materiálu |7 ph123167 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a strains and stresses |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Caha, Ondřej, |d 1979- |7 mub2011649618 |% UČO 4414 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/324150/prif_b/ |
| CAT | |c 20120626 |l MUB01 |h 0423 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120712 |l MUB01 |h 1340 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120718 |l MUB01 |h 0823 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 02 |c 20120720 |l MUB01 |h 1429 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1016 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20120830 |l MUB01 |h 1059 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1431 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0746 | ||
| CAT | |c 20140911 |l MUB01 |h 1609 | ||
| CAT | |c 20140912 |l MUB01 |h 1103 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1206 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1449 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1410 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0244 | ||
| CAT | |a SIMCIKOVAX |b 02 |c 20160822 |l MUB01 |h 1353 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20161106 |l MUB01 |h 2315 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1454 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1505 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0941 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0953 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |c 20200507 |l MUB01 |h 1113 | ||
| CAT | |a VACOVAX |b 02 |c 20201008 |l MUB01 |h 0945 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0959 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1948 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1214 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2020-05-07 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12663 |5 3145355489 |8 20120720 |f 70 |f Prezenční |q 20180809 |r 20120720 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12663 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||