Stanovení parciálního tlaku plynu
Při výzkumu i aplikacích plazmatu se často používají směsi různých plynů. Poměr průtoků plynů, které se pouští do aparatury, je možné jednoduše změřit. Protože ale vývěvy čerpají různé plyny různou rychlostí, může se poměr parciálních tlaků plynů v aparatuře lišit od poměrů měřených průtoků. Tato pr...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2011
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/324099/prif_b/ |
| Shrnutí: | Při výzkumu i aplikacích plazmatu se často používají směsi různých plynů. Poměr průtoků plynů, které se pouští do aparatury, je možné jednoduše změřit. Protože ale vývěvy čerpají různé plyny různou rychlostí, může se poměr parciálních tlaků plynů v aparatuře lišit od poměrů měřených průtoků. Tato práce je založena na vakuové fyzice a jejím cílem je stanovení parciálních tlaků v plynných směsích v reaktoru určeném pro diagnostiku plazmatu. K tomu byly provedeny příslušné výpočty podpořené experimentálními vstupy, například měřením čerpacích rychlostí. Na závěr své práce jsem se pokusil výsledky ověřit za pomoci hmotnostního spektrometru. There are many kinds of gas mixtures used in scientific researches of the plasma as well as in many technical applications. Proportion of the gas flow injected to any aparate is easy measurable. As the vacuum pump draws different kinds of gas by different speed, the proportion of partial pressure can vary and differ from the proportions of measured flows. This work is based on the physics of the vacuum and the goal of it is the determination of partial pressure in gas mixtures in the reactor designed for plasma diagnostics. The applicable calculations were done and supported by experimental inputs as measurment of pumping speeds for instance. As the final input were the results verified by the mass spectrometer. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Pavel Dvořák |
| Fyzický popis: | 27 l. |