Teplotní stabilita SiGe/Si multivrtev
Předložená práce se zabývá interdifuzí v multivrstvách SiGe s průměrným obsahem germania 50%, kterou studuje za použití metod rentgenové reflektivity a difrakce realizovaných in-situ ve vysokoteplotní vakuové komůrce. Rozsah teplot žíhání jednotlivých vzorků byl 620°C až 750°C, přičemž hledané inter...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2011
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/211075/prif_m/ |
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
| Popis | Stav | Knihovna | Sbírka | Signatura | Poznámky | Čárový kód |
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Dostupné Prezenční SKLAD |
Přírodovědecká fakulta | ÚK sklad - F | K-12696 | 3145352436 |