Příprava polovodičových součástek křemíkovou technologií
V předkládané práci se věnuji technologiím a procesům, používaným v Laboratoři polovodičů - čistých prostorách pro křemíkovou technologii a mikroelektroniku na Ústavu fyziky kondenzovaných látek (ÚFKL) Masarykovy univerzity a dále pak strukturám a součástkám, které byly vyrobeny v této laboratoři. O...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2011
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/151246/prif_m/ |
| LEADER | 04693ctm a22007217a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000683270 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20231128144439.0 | ||
| 008 | 110702s2011 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-12-20 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)167984 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 621.38 |x Elektronika |2 Konspekt |9 19 | |
| 080 | |a 621.382 |2 MRF | ||
| 080 | |a 776 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.38 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Truhlář, Michal |% UČO 151246 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Preparation of semiconductor devices by silicon technology |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Příprava polovodičových součástek křemíkovou technologií |h [rukopis] / |c Michal Truhlář |
| 260 | |c 2011 | ||
| 300 | |a 117 l. + |e křemíková deska | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Petr Mikulík | ||
| 502 | |a Diplomová práce (Mgr.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2011 | ||
| 520 | 2 | |a V předkládané práci se věnuji technologiím a procesům, používaným v Laboratoři polovodičů - čistých prostorách pro křemíkovou technologii a mikroelektroniku na Ústavu fyziky kondenzovaných látek (ÚFKL) Masarykovy univerzity a dále pak strukturám a součástkám, které byly vyrobeny v této laboratoři. Osobně jsem připravil několik křemíkových desek se třemi fotolitografickými kroky. V návaznosti na výrobu součástek jsem zprovoznil stanici hrotového měření mimo oblast čistých prostor a vytvořil jsem návod měření na této stanici. Díky tomu bylo možné rozšířit výuku v Laboratoři polovodičů o další úlohu - měření. Zprovoznění stanice umožňuje provést měření základních elektrických vlastností vyrobených součástek a vyhodnotit tak úspěšnost výroby. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a In the presented work I devote myself to study of technology and processes used in the Laboratory of Semiconductors - Clean room for silicon device technology and microelectronics at the Department of Condensed Matter Physics (ÚFKL) at Masaryk University. I focus on structures and components that are developed in this laboratory. Using a process with three photolitography steps I have processed a number of silicon wafers with a predefined structure. Further I have commissioned a workstation for probe measurements of devices outside of the clean room and created a measurement manual for this workstation. This allowed us to enhance teaching in the Laboratory of Semiconductors by a new task - the electrical measurement. Launching of the workstation enables the measurement of principal electrical properties (resistivity, capacity, V-A characteristics) of produced devices in order to evaluate the success of their production. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a fotolitografie |7 ph274670 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a polovodičové součástky |7 ph115802 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a photolithography |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a photolitography |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a semiconductor components |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a diplomové práce |7 fd132022 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika kondenzovaných látek |c PřF N-FY KOND (KOND) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Mikulík, Petr, |d 1969- |7 mub2013754668 |% UČO 855 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Ústav geologických věd |7 ko2004226848 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/151246/prif_m/ |
| CAT | |c 20110702 |l MUB01 |h 0424 | ||
| CAT | |a RACLAVSKA |b 00 |c 20110711 |l MUB01 |h 1010 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20110721 |l MUB01 |h 1139 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20110721 |l MUB01 |h 1143 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0149 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 2027 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1250 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130404 |l MUB01 |h 0751 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130409 |l MUB01 |h 0741 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130409 |l MUB01 |h 0754 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131009 |l MUB01 |h 1420 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1913 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20140521 |l MUB01 |h 0802 | ||
| CAT | |c 20141203 |l MUB01 |h 1555 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1146 | ||
| CAT | |a DRIMLOVAX |b 02 |c 20150720 |l MUB01 |h 1244 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1447 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1409 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0203 | ||
| CAT | |c 20191220 |l MUB01 |h 1309 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0954 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1943 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1207 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20231128 |l MUB01 |h 1444 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-12-20 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12713 |5 3145352437 |8 20110711 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20110629 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12713 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||