Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování
Hlavním cílem této práce je studovat nanoindentační metodou složení nanokompozitních titan-karbidových vrstev a pomocí vhodného modelu odseparovat mechanické vlastnosti vrstev od vlastností substrátu. Tyto vrstvy byly připraveny procesem magnetronového naprašování v atmosféře s příměsí reaktivního a...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2010
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/270584/prif_b/ |
| LEADER | 05756ctm a22009137a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000646991 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20120831081002.0 | ||
| 008 | 100708s2010 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)184794 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 539 |x Fyzikální stavba hmoty. Jaderná fyzika. Molekulární fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539.2/.5 |2 MRF | ||
| 080 | |a 539 |2 MRF | ||
| 080 | |a 621.793/.795 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Zábranský, Lukáš |% UČO 270584 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Mechanical properties of thin films prepared using reactive magnetron sputtering |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování |h [rukopis] / |c Lukáš Zábranský |
| 260 | |c 2010 | ||
| 300 | |a 53 l. |b il. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Vilma Buršíková | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2010 | ||
| 520 | 2 | |a Hlavním cílem této práce je studovat nanoindentační metodou složení nanokompozitních titan-karbidových vrstev a pomocí vhodného modelu odseparovat mechanické vlastnosti vrstev od vlastností substrátu. Tyto vrstvy byly připraveny procesem magnetronového naprašování v atmosféře s příměsí reaktivního acetylenu. V první části jsou rozebrány základní fyzikální principy naprašování a analýzy pomocí nanoindentační metody. Druhá část zahrnuje popis metod použitých pro analýzu struktury vzorku a diskuzi výsledků. Tloušťku a strukturu vrstvy jsme studovali pomocí kalotestu a analýzy SEM. Kulové vrchlíky vzniklé abrazí vzorku během kalotestu byly studovány nanoindentačními vtisky. Použili jsme modely pro separaci tvrdosti vrstvy od substrátu a od ostatních vrstev. Prokázali jsme, že bez detailních znalostí vnitřní struktury vrstvy je obtížné určit její tvrdost. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a The main goal of this work is to study the structure of nanocomposite titan-carbide coatings using nanoindentation method and to separate the mechanical properties of coatings from a substrate using a suitable model. These coatings were prepared by the magnetron sputtering process in an atmosphere containing reactive acethylen. The basic physical principles of sputtering and analyzis using a nanoindentation method are presented in a first section. The second section contains the description of methods used to analyse the structure of sample and the discussion of results. We used calotest and SEM analysis to study the strukture and thickness of the coating. The spherical segments (craters) created during abrasion of the sample using calotest were studied by nanoindentations. We used models to separate hardness of coating from an influence of substrate and another layers. We proved that it’s difficult to calculate the hardness of the coating without detailed knowledge of its inner struct |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a povrchové úpravy materiálů |7 ph124452 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a vlastnosti materiálů |7 ph241154 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a finishes and finishing |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a materials properties |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a surface finishing |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Fyzika |b Fyzika |c PřF B-FY FYZ (FYZ) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Buršíková, Vilma, |d 1960- |7 mzk2005269916 |% UČO 2418 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/270584/prif_b/ |
| CAT | |c 20100708 |l MUB01 |h 0451 | ||
| CAT | |a KRIZOVA |b 02 |c 20100803 |l MUB01 |h 1055 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20100818 |l MUB01 |h 1037 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1920 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2329 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20110714 |l MUB01 |h 1154 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0140 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0733 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 2010 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20120713 |l MUB01 |h 1059 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1016 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20120831 |l MUB01 |h 0810 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20130218 |l MUB01 |h 1432 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130304 |l MUB01 |h 1113 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0745 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1127 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1446 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1407 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0117 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20170925 |l MUB01 |h 1610 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20171219 |l MUB01 |h 1210 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1454 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1504 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0941 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |c 20190527 |l MUB01 |h 1025 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0948 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1937 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1158 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20211115 |l MUB01 |h 1616 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230919 |l MUB01 |h 2216 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2019-05-27 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRSFY |b ÚK sklad - F |3 K-12642 |5 3145348919 |8 20100803 |a 2010 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180809 |r 20100803 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad - F |d K-12642 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRSFY | ||