Mechanické vlastnosti tenkých vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování - Zábranský, Lukáš (2010)
Hlavním cílem této práce je studovat nanoindentační metodou složení nanokompozitních titan-karbidových vrstev a pomocí vhodného modelu odseparovat mechanické vlastnosti vrstev od vlastností substrátu. Tyto vrstvy byly připraveny procesem magnetronového naprašování v atmosféře s příměsí reaktivního acetylenu. V první části jsou rozebrány základní fyzikální principy naprašování a analýzy pomocí nanoindentační metody. Druhá část zahrnuje popis metod použitých pro analýzu struktury vzorku a diskuzi výsledků. Tloušťku a strukturu vrstvy jsme studovali pomocí kalotestu a analýzy SEM. Kulové vrchlíky vzniklé abrazí vzorku během kalotestu byly studovány nanoindentačními vtisky. Použili jsme modely pro separaci tvrdosti vrstvy od substrátu a od ostatních vrstev. Prokázali jsme, že bez detailních znalostí vnitřní struktury vrstvy je obtížné určit její tvrdost.