Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2009.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/150816/prif_b/ |
| LEADER | 04907ctm a22009257a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000572663 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20090313164055.0 | ||
| 008 | 090205s2009 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-06-21 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)129771 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 072 | 7 | |a 53 |x Fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 543.51 |2 MRF | ||
| 080 | |a 53 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Ježek, Vladimír |% UČO 150816 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 0 | |a Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD |h [rukopis] / |c Vladimír Ježek. |
| 260 | |c 2009. | ||
| 300 | |a 34 l. : |b il. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Pavel Sťahel. | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2009. | ||
| 520 | 2 | |a Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky byly pak zpracovány v programu Exodifuze. Pomocí tohoto programu byla získána závislost iontového proudu na teplotě. Grafy závislostí iontového proudu na teplotě byly zpracovány v programu Origin. Z grafů pak bylo možno odečíst meze teplotní stability pro desorbující hmoty. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on temperature were gained by Origin program. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a hmotnostní spektrometrie |7 ph120763 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a mass spectroscopy |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 658 | |a Aplikovaná fyzika |b Astrofyzika |c PřF B-AF ASTRO (ASTRO) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Sťahel, Pavel |7 mub2011665695 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/150816/prif_b/ |
| CAT | |c 20090205 |l MUB01 |h 0450 | ||
| CAT | |a DRIMLOVA |b 02 |c 20090311 |l MUB01 |h 1407 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20090313 |l MUB01 |h 1640 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091102 |l MUB01 |h 0702 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091103 |l MUB01 |h 0201 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 1905 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20091219 |l MUB01 |h 0806 | ||
| CAT | |c 20100428 |l MUB01 |h 1011 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100501 |l MUB01 |h 1206 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100929 |l MUB01 |h 0333 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20110209 |l MUB01 |h 1321 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1915 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2323 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20111019 |l MUB01 |h 0929 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20111024 |l MUB01 |h 1127 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0121 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0732 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 1936 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1016 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130303 |l MUB01 |h 1042 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0745 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131218 |l MUB01 |h 1002 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1443 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1404 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151226 |l MUB01 |h 0003 | ||
| CAT | |c 20180621 |l MUB01 |h 1017 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1454 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1504 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1226 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0937 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0940 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0752 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2301 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0936 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1925 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1143 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1726 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2018-06-21 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRFSK |b ÚK sklad |3 K-9450 |5 3145344534 |8 20090311 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180420 |r 20090311 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad |d K-9450 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRFSK | ||