Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Ježek, Vladimír (Autor práce)
Další autoři: Sťahel, Pavel (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Čeština
Vydáno: 2009.
Témata:
hmotnostní spektrometrie
tenké vrstvy
mass spectroscopy
thin films
bakalářské práce
On-line přístup:http://is.muni.cz/th/150816/prif_b/
Obálka
Popis
Shrnutí:Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky byly pak zpracovány v programu Exodifuze. Pomocí tohoto programu byla získána závislost iontového proudu na teplotě. Grafy závislostí iontového proudu na teplotě byly zpracovány v programu Origin. Z grafů pak bylo možno odečíst meze teplotní stability pro desorbující hmoty.
Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on temperature were gained by Origin program.
Popis jednotky:Vedoucí práce: Pavel Sťahel.
Fyzický popis:34 l. : il.

Podobné jednotky