Plazmochemická depozice a charakterizace uhlíkových nanotrubek
V předložené práci se zkoumá vliv tloušťky železných katalytických vrstev na průměr a další vlastnosti uhlíkových nanotrubek vzniklých metodou PECVD v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku. Tyto vrstvy byly tepelně napařeny na křemíkové substráty a charakterizovány pomocí elipsometrických měřen...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2008.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/175991/prif_b/ |
| Shrnutí: | V předložené práci se zkoumá vliv tloušťky železných katalytických vrstev na průměr a další vlastnosti uhlíkových nanotrubek vzniklých metodou PECVD v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku. Tyto vrstvy byly tepelně napařeny na křemíkové substráty a charakterizovány pomocí elipsometrických měření, měření odrazivosti a atomové mikroskopie. Na nich pak proběhla depozice uhlíkových nanotrubek při podmínkách, které se dříve ukázaly být pro použitý reaktor optimální. Následně se vzniklé nanotrubky i katalytické částice charakterizovaly pomocí rastrovací elektronové mikroskopie. In this work the influence of the thickness of iron catalytic layer on the diameter and other properties of carbon nanotubes prepared in a microwave discharge at an atmospheric pressure is studied. The layers were created by thermal evaporation on a silicon substrate and characterized by means of ellipsometric and reflectivity measurements as well as atomic force microscopy. A deposition of carbon nanotubes was then performed on these substrates under conditions which proved optimal for the used reactor in past. Nanotubes grown on the substrates as well as catalytic particles were then characterized using scanning electron microscopy. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Lenka Zajíčková. |
| Fyzický popis: | 40 l. : il. |