Electron spectro-microscopy with multi-channel signal detection

Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elekt...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Čižmár, Petr (Autor práce)
Další autoři: Müllerová, Ilona, 1954- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Angličtina
Vydáno: 2007
Témata:
On-line přístup:Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU
Obálka
LEADER 06052ntm a22009497a 4500
001 MUB01000539413
003 CZ BrMU
005 20170227230109.0
008 080204s2007 xr |||||q|||||||||||eng d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2017-03-06 
040 |a BOD004  |b cze 
041 0 |a eng  |b cze 
072 7 |a 537  |x Elektřina  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 537.533.35  |2 MRF 
080 |a 537  |2 MRF 
100 1 |a Čižmár, Petr  |% UČO 2782  |4 dis 
242 1 0 |a Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu  |y cze 
245 1 0 |a Electron spectro-microscopy with multi-channel signal detection  |h [elektronický zdroj] /  |c Petr Čižmár 
260 |c 2007 
300 |a 1 CD-ROM 
500 |a Vedoucí práce: Ilona Müllerová 
502 |a Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2007 
520 2 |a Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elektrostatické pole, podobné hyperbolickému poli. Parametry pole byly zjištěny pomocí výpočtů trajektorií, ketré musely být, na rozdíl od hyperbolického pole, provedeny numericky. Dále byl navržen analyzátor s ohledem na volný prostor ve vzorkové komoře mikroskopu. Návrh byl poté ověřen pomocí 3D simulačního programu, čímž byly současně zpočteny oshady základních paramterů analyzátoru. Nakonec byl analyzátor zkonstruován a sestaven z ultravakuově kompatibilních a vypékatelných materiálů, což je podmínkou provozu v ultravysokovakuové aparature. Experiment byl úspěšně proveden na universitě v Yorku, ve Velké Británii, kde bylo získáno spektrum z nečištěné měděné fólie. Enegie primárnícho svazku by.  |% cze 
520 2 9 |a One of the nearly nondestructive methods used to examine surfaces is the energy analysis of Auger electrons, which have energies roughly from 50 to 2000~eV. The main goal of this work was to build a working parallel energy analyzer capable of Auger analysis. The analyzer employs a cylindrically symmetrical electrostatic field similar to the hyperbolic field. Parameters of the field were defined by electron trajectories. Trajectories must be calculated numerically, because no analytical expression of functions of trajectories exist, unlike with the hyperbolic field analyzer. The analyzer was then designed according to the spacial clearance available in the microscope chamber. This design was verified using 3D simulation and the basic parameters of the analyzer were estimated. Finally, the device was built using ultra-high-vacuum (UHV) compatible and bakeable materials, which was required to to work in UHV conditions. Successful experiments were performed at the University of York, U.  |9 eng 
650 0 7 |a elektronová mikroskopie  |7 ph114456  |2 czenas 
650 0 9 |a electron microscopy  |2 eczenas 
655 7 |a disertace  |7 fd132024  |2 czenas 
655 9 |a dissertations  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Vlnová a částicová optika  |c PřF D-FY VCOP (VCOP)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Müllerová, Ilona,  |d 1954-  |7 ola2003206244  |% UČO 90516  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Přírodovědecká fakulta.  |b Fyzikální sekce  |7 kn20020321517  |4 dgg 
856 4 1 |z Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU  |u https://is.muni.cz/auth/th/2782/prif_d/ 
CAT |a DRIMLOVA  |b 02  |c 20080204  |l MUB01  |h 0748 
CAT |a NOVAKOVA  |b 02  |c 20080325  |l MUB01  |h 1440 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1814 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1828 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091102  |l MUB01  |h 0634 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091103  |l MUB01  |h 0141 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 0204 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 1847 
CAT |a BATCH-UPD  |b 00  |c 20091219  |l MUB01  |h 0749 
CAT |c 20100428  |l MUB01  |h 1007 
CAT |a BATCH-UPD  |b 00  |c 20100501  |l MUB01  |h 1146 
CAT |a KOZOVAX  |b 02  |c 20100507  |l MUB01  |h 1034 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20100525  |l MUB01  |h 1532 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20100809  |l MUB01  |h 1712 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20100810  |l MUB01  |h 1143 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20100929  |l MUB01  |h 0326 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20110719  |l MUB01  |h 1302 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20110719  |l MUB01  |h 1303 
CAT |a batch  |b 00  |c 20120324  |l MUB01  |h 0110 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20120327  |l MUB01  |h 2232 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120510  |l MUB01  |h 0732 
CAT |c 20120610  |l MUB01  |h 1914 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120726  |l MUB01  |h 1015 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130303  |l MUB01  |h 0945 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20130730  |l MUB01  |h 0745 
CAT |a ANTLOVA  |b 02  |c 20140411  |l MUB01  |h 1526 
CAT |a ANTLOVA  |b 02  |c 20140411  |l MUB01  |h 1553 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1440 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1400 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151225  |l MUB01  |h 2317 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20170227  |l MUB01  |h 2301 
CAT |c 20170306  |l MUB01  |h 1042 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1453 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1503 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190109  |l MUB01  |h 1225 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0936 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0940 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0952 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190227  |l MUB01  |h 0751 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201030  |l MUB01  |h 0223 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0929 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1918 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1133 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210819  |l MUB01  |h 1725 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2127 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20231001  |l MUB01  |h 2358 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2017-03-06 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m CDROM  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRFST  |b ÚK volný výběr  |3 K-F-2007-ČIŽM  |5 3145340799  |8 20080204  |f 70  |f Prezenční  |q 20180718  |r 20080204  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK volný výběr  |d K-F-2007-ČIŽM  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRFST