Electron spectro-microscopy with multi-channel signal detection
Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elekt...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
2007
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU |
| Shrnutí: | Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elektrostatické pole, podobné hyperbolickému poli. Parametry pole byly zjištěny pomocí výpočtů trajektorií, ketré musely být, na rozdíl od hyperbolického pole, provedeny numericky. Dále byl navržen analyzátor s ohledem na volný prostor ve vzorkové komoře mikroskopu. Návrh byl poté ověřen pomocí 3D simulačního programu, čímž byly současně zpočteny oshady základních paramterů analyzátoru. Nakonec byl analyzátor zkonstruován a sestaven z ultravakuově kompatibilních a vypékatelných materiálů, což je podmínkou provozu v ultravysokovakuové aparature. Experiment byl úspěšně proveden na universitě v Yorku, ve Velké Británii, kde bylo získáno spektrum z nečištěné měděné fólie. Enegie primárnícho svazku by. One of the nearly nondestructive methods used to examine surfaces is the energy analysis of Auger electrons, which have energies roughly from 50 to 2000~eV. The main goal of this work was to build a working parallel energy analyzer capable of Auger analysis. The analyzer employs a cylindrically symmetrical electrostatic field similar to the hyperbolic field. Parameters of the field were defined by electron trajectories. Trajectories must be calculated numerically, because no analytical expression of functions of trajectories exist, unlike with the hyperbolic field analyzer. The analyzer was then designed according to the spacial clearance available in the microscope chamber. This design was verified using 3D simulation and the basic parameters of the analyzer were estimated. Finally, the device was built using ultra-high-vacuum (UHV) compatible and bakeable materials, which was required to to work in UHV conditions. Successful experiments were performed at the University of York, U. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Ilona Müllerová |
| Fyzický popis: | 1 CD-ROM |