Electron spectro-microscopy with multi-channel signal detection

Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elekt...

Celý popis

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Čižmár, Petr (Autor práce)
Další autoři: Müllerová, Ilona, 1954- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Angličtina
Vydáno: 2007.
Témata:
On-line přístup:Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU
Obálka
LEADER 06124ctm a22009977a 4500
001 MUB01000510835
003 CZ BrMU
005 20080325143726.0
008 070704s2007 xr ||||| |||||||||||eng d
STA |a POSLANO DO SKCR  |b 2014-04-16 
035 |a (ISMU-VSKP)73320 
040 |a BOD114  |b cze  |d BOD004 
041 0 |a eng  |b cze 
072 7 |a 537  |x Elektřina  |2 Konspekt  |9 6 
080 |a 537.533.35  |2 MRF 
080 |a 537  |2 MRF 
100 1 |a Čižmár, Petr  |% UČO 2782  |4 dis 
242 1 0 |a Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu  |y cze 
245 1 0 |a Electron spectro-microscopy with multi-channel signal detection  |h [rukopis] /  |c Petr Čižmár. 
260 |c 2007. 
300 |a 70 l. :  |b il. 
500 |a Vedoucí práce: Ilona Müllerová. 
502 |a Dizertace (Ph.D.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2007. 
520 2 |a Jedna z téměř nedestruktivních metod analýzy povrchů je energiová analýza Augerových elek- tronů. Tyto elektromy mají energie zhruba od 50ti do 2000 eV. Hlavním cílem této práce je vytvořit fungující paralelní energiový analyzátor schopný Augerovy analýzy. Analyzátor využívá válcově symetrické elektrostatické pole, podobné hyperbolickému poli. Parametry pole byly zjištěny pomocí výpočtů trajektorií, ketré musely být, na rozdíl od hyperbolického pole, provedeny numericky. Dále byl navržen analyzátor s ohledem na volný prostor ve vzorkové komoře mikroskopu. Návrh byl poté ověřen pomocí 3D simulačního programu, čímž byly současně zpočteny oshady základních paramterů analyzátoru. Nakonec byl analyzátor zkonstruován a sestaven z ultravakuově kompatibilních a vypékatelných materiálů, což je podmínkou provozu v ultravysokovakuové aparature. Experiment byl úspěšně proveden na universitě v Yorku, ve Velké Británii, kde bylo získáno spektrum z nečištěné měděné fólie. Enegie primárnícho svazku by.  |% cze 
520 2 9 |a One of the nearly nondestructive methods used to examine surfaces is the energy analysis of Auger electrons, which have energies roughly from 50 to 2000~eV. The main goal of this work was to build a working parallel energy analyzer capable of Auger analysis. The analyzer employs a cylindrically symmetrical electrostatic field similar to the hyperbolic field. Parameters of the field were defined by electron trajectories. Trajectories must be calculated numerically, because no analytical expression of functions of trajectories exist, unlike with the hyperbolic field analyzer. The analyzer was then designed according to the spacial clearance available in the microscope chamber. This design was verified using 3D simulation and the basic parameters of the analyzer were estimated. Finally, the device was built using ultra-high-vacuum (UHV) compatible and bakeable materials, which was required to to work in UHV conditions. Successful experiments were performed at the University of York, U.  |9 eng 
650 0 7 |a elektronová mikroskopie  |7 ph114456  |2 czenas 
650 0 9 |a electron microscopy  |2 eczenas 
655 7 |a disertace  |7 fd132024  |2 czenas 
655 9 |a dissertations  |2 eczenas 
658 |a Fyzika  |b Vlnová a částicová optika  |c PřF D-FY VCOP (VCOP)  |2 CZ-BrMU 
700 1 |a Müllerová, Ilona,  |d 1954-  |7 ola2003206244  |% UČO 90516  |4 ths 
710 2 |a Masarykova univerzita.  |b Přírodovědecká fakulta.  |b Fyzikální sekce  |7 kn20020321517  |4 dgg 
856 4 1 |z Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU  |u https://is.muni.cz/auth/th/2782/prif_d/ 
CAT |c 20070704  |l MUB01  |h 0452 
CAT |c 20071001  |l MUB01  |h 0109 
CAT |c 20071003  |l MUB01  |h 2203 
CAT |a DRIMLOVA  |b 02  |c 20080204  |l MUB01  |h 0746 
CAT |a NOVAKOVA  |b 02  |c 20080325  |l MUB01  |h 1437 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1813 
CAT |c 20080429  |l MUB01  |h 1828 
CAT |c 20081009  |l MUB01  |h 1440 
CAT |c 20081009  |l MUB01  |h 1534 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091102  |l MUB01  |h 0609 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20091103  |l MUB01  |h 0130 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 0152 
CAT |c 20091203  |l MUB01  |h 1835 
CAT |a BATCH-UPD  |b 00  |c 20091219  |l MUB01  |h 0739 
CAT |c 20100428  |l MUB01  |h 1002 
CAT |a BATCH-UPD  |b 00  |c 20100501  |l MUB01  |h 1133 
CAT |a KOZOVAX  |b 02  |c 20100507  |l MUB01  |h 1034 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20100525  |l MUB01  |h 1532 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20100809  |l MUB01  |h 1712 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20100810  |l MUB01  |h 1143 
CAT |a BATCH-UPD  |b 02  |c 20100929  |l MUB01  |h 0322 
CAT |c 20110627  |l MUB01  |h 1905 
CAT |c 20110627  |l MUB01  |h 2313 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20110719  |l MUB01  |h 1303 
CAT |a batch  |b 00  |c 20120324  |l MUB01  |h 0103 
CAT |a HANAV  |b 02  |c 20120327  |l MUB01  |h 2232 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120510  |l MUB01  |h 0732 
CAT |c 20120610  |l MUB01  |h 1858 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20120726  |l MUB01  |h 1015 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20130303  |l MUB01  |h 0907 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20130730  |l MUB01  |h 0745 
CAT |c 20140416  |l MUB01  |h 1202 
CAT |c 20150901  |l MUB01  |h 1437 
CAT |c 20150921  |l MUB01  |h 1358 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20151225  |l MUB01  |h 2248 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1453 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20180826  |l MUB01  |h 1503 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190109  |l MUB01  |h 1225 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0936 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0940 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190129  |l MUB01  |h 0952 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20190227  |l MUB01  |h 0751 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20201030  |l MUB01  |h 0223 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 0925 
CAT |c 20210614  |l MUB01  |h 1914 
CAT |a BATCH  |b 00  |c 20210724  |l MUB01  |h 1126 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20210819  |l MUB01  |h 1725 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20230808  |l MUB01  |h 2127 
CAT |a POSPEL  |b 02  |c 20231001  |l MUB01  |h 2358 
LOW |a POSLANO DO SKCR  |b 2014-04-16 
994 - 1 |l MUB01  |l MUB01  |m VYSPR  |1 PRIF  |a Přírodovědecká fakulta  |2 PRFSK  |b ÚK sklad  |3 K-9629  |5 3145340798  |8 20080204  |f 71  |f Prezenční SKLAD  |q 20180420  |r 20080204  |s dar 
AVA |a SCI50  |b PRIF  |c ÚK sklad  |d K-9629  |e available  |t K dispozici  |f 1  |g 0  |h N  |i 0  |j PRFSK