Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektro...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2007.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/106065/prif_b/ |
| LEADER | 05103ctm a22010457a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | MUB01000510225 | ||
| 003 | CZ BrMU | ||
| 005 | 20080208151728.0 | ||
| 008 | 070629s2007 xr ||||| |||||||||||cze d | ||
| STA | |a POSLANO DO SKCR |b 2014-04-16 | ||
| 035 | |a (ISMU-VSKP)104822 | ||
| 040 | |a BOD114 |b cze |d BOD004 | ||
| 041 | 0 | |a cze |b eng | |
| 072 | 7 | |a 53 |x Fyzika |2 Konspekt |9 6 | |
| 080 | |a 539.216 |2 MRF | ||
| 080 | |a 543.51 |2 MRF | ||
| 080 | |a 53 |2 MRF | ||
| 100 | 1 | |a Mikmeková, Eliška |% UČO 106065 |* [absolvent PřírF MU] |4 dis | |
| 242 | 1 | 4 | |a The thermal stability of films prepared by PE-CVD |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD |h [rukopis] / |c Eliška Mikmeková. |
| 260 | |c 2007. | ||
| 300 | |a 36 l. | ||
| 500 | |a Vedoucí práce: Pavel Sťahel. | ||
| 502 | |a Bakalářská práce (Bc.)--Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta, 2007. | ||
| 520 | 2 | |a Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektrometrem, kde lze nastavit hmoty, které chceme detekovat. Výsledky byly vyhodnoceny v programu Origin a z grafů (závislost iontového proudu na teplotě) byla určena teplotní stabilita vrstev. |% cze | |
| 520 | 2 | 9 | |a The thermal stability was studied at series of films. Films were prepared by method PE-CVD. The thermal stability of samples was studied by means of thermal desorption spectroscopy (TDS) in the range (25-1000)C. The studied sample was placed into vacuum chamber heated with constant heating rate. Thermal stability of samples was investigated for different heating rates - 10 C /min., 7.5 C/min and 5 C/min. Desorbed particles were monitored by means mass spectrometer Pfeiffer Vacuum Prisma 80. |9 eng |
| 650 | 0 | 7 | |a hmotnostní spektrometrie |7 ph120763 |2 czenas |
| 650 | 0 | 7 | |a tenké vrstvy |7 ph126536 |2 czenas |
| 650 | 0 | 9 | |a mass spectroscopy |2 eczenas |
| 650 | 0 | 9 | |a thin films |2 eczenas |
| 655 | 7 | |a bakalářské práce |7 fd132403 |2 czenas | |
| 655 | 9 | |a bachelor's theses |2 eczenas | |
| 658 | |a Aplikovaná fyzika |b Astrofyzika |c PřF B-AF ASTRO (ASTRO) |2 CZ-BrMU | ||
| 700 | 1 | |a Sťahel, Pavel |7 mub2011665695 |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Masarykova univerzita. |b Přírodovědecká fakulta. |b Fyzikální sekce |7 kn20020321517 |4 dgg | |
| 856 | 4 | 1 | |u http://is.muni.cz/th/106065/prif_b/ |
| CAT | |c 20070629 |l MUB01 |h 0452 | ||
| CAT | |c 20071001 |l MUB01 |h 0109 | ||
| CAT | |c 20071003 |l MUB01 |h 2203 | ||
| CAT | |a DRIMLOVA |b 02 |c 20080124 |l MUB01 |h 1023 | ||
| CAT | |a NOVAKOVA |b 02 |c 20080208 |l MUB01 |h 1517 | ||
| CAT | |c 20080429 |l MUB01 |h 1813 | ||
| CAT | |c 20080429 |l MUB01 |h 1828 | ||
| CAT | |c 20081009 |l MUB01 |h 1440 | ||
| CAT | |c 20081009 |l MUB01 |h 1534 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091102 |l MUB01 |h 0608 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 02 |c 20091103 |l MUB01 |h 0130 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 0151 | ||
| CAT | |c 20091203 |l MUB01 |h 1835 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20091219 |l MUB01 |h 0738 | ||
| CAT | |c 20100428 |l MUB01 |h 1002 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100501 |l MUB01 |h 1132 | ||
| CAT | |a BATCH-UPD |b 00 |c 20100929 |l MUB01 |h 0322 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20110209 |l MUB01 |h 1321 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 1904 | ||
| CAT | |c 20110627 |l MUB01 |h 2313 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20111019 |l MUB01 |h 0929 | ||
| CAT | |a HANAV |b 02 |c 20111024 |l MUB01 |h 1127 | ||
| CAT | |a batch |b 00 |c 20120324 |l MUB01 |h 0102 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120510 |l MUB01 |h 0732 | ||
| CAT | |c 20120610 |l MUB01 |h 1857 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20120726 |l MUB01 |h 1015 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20130303 |l MUB01 |h 0906 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20130730 |l MUB01 |h 0744 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20131218 |l MUB01 |h 1002 | ||
| CAT | |c 20140127 |l MUB01 |h 1833 | ||
| CAT | |c 20140416 |l MUB01 |h 1201 | ||
| CAT | |c 20150703 |l MUB01 |h 1020 | ||
| CAT | |c 20150901 |l MUB01 |h 1437 | ||
| CAT | |c 20150921 |l MUB01 |h 1357 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20151225 |l MUB01 |h 2248 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1453 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20180826 |l MUB01 |h 1503 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190109 |l MUB01 |h 1225 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0936 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0940 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190129 |l MUB01 |h 0952 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20190227 |l MUB01 |h 0751 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2301 | ||
| CAT | |a PTICHAX |b 02 |c 20200603 |l MUB01 |h 2302 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20201030 |l MUB01 |h 0223 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 0925 | ||
| CAT | |c 20210614 |l MUB01 |h 1914 | ||
| CAT | |a BATCH |b 00 |c 20210724 |l MUB01 |h 1126 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20210819 |l MUB01 |h 1725 | ||
| CAT | |a POSPEL |b 02 |c 20230808 |l MUB01 |h 2127 | ||
| LOW | |a POSLANO DO SKCR |b 2014-04-16 | ||
| 994 | - | 1 | |l MUB01 |l MUB01 |m VYSPR |1 PRIF |a Přírodovědecká fakulta |2 PRFSK |b ÚK sklad |3 K-9535 |5 3145340710 |8 20080124 |f 71 |f Prezenční SKLAD |q 20180420 |r 20080124 |s dar |
| AVA | |a SCI50 |b PRIF |c ÚK sklad |d K-9535 |e available |t K dispozici |f 1 |g 0 |h N |i 0 |j PRFSK | ||