Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektro...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2007.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://is.muni.cz/th/106065/prif_b/ |
| Shrnutí: | Cílem této práce je určit teplotní stabilitu vrstev vytvořených metodou PE-CVD, v rozmezí 25C-1000C, pomocí termodesorpční spektrometrie. Vrstvy byly zahřívány v elektrické laboratorní peci (konstantní zahřívací rychlostí) a plyn desorpující z povrchu byl analyzován kvadrupólovým hmotnostním spektrometrem, kde lze nastavit hmoty, které chceme detekovat. Výsledky byly vyhodnoceny v programu Origin a z grafů (závislost iontového proudu na teplotě) byla určena teplotní stabilita vrstev. The thermal stability was studied at series of films. Films were prepared by method PE-CVD. The thermal stability of samples was studied by means of thermal desorption spectroscopy (TDS) in the range (25-1000)C. The studied sample was placed into vacuum chamber heated with constant heating rate. Thermal stability of samples was investigated for different heating rates - 10 C /min., 7.5 C/min and 5 C/min. Desorbed particles were monitored by means mass spectrometer Pfeiffer Vacuum Prisma 80. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Pavel Sťahel. |
| Fyzický popis: | 36 l. |