Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje
Dizertační práce "Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje" se věnuje převážně diagnostice nízkotlakého, vodíkového, vysokofrekvenčního (13,56\,MHz), kapacitně vázaného výboje. Experimenty byly prováděny v kulovém vakuovém reaktoru z nerezové oceli se dvěma rovnoběžnými...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | VŠ práce nebo rukopis |
| Jazyk: | Čeština |
| Vydáno: |
2006.
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | Elektronická verze přístupná pouze pro studenty a pracovníky MU |
| Shrnutí: | Dizertační práce "Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje" se věnuje převážně diagnostice nízkotlakého, vodíkového, vysokofrekvenčního (13,56\,MHz), kapacitně vázaného výboje. Experimenty byly prováděny v kulovém vakuovém reaktoru z nerezové oceli se dvěma rovnoběžnými kruhovými elektrodami, z nichž jedna byla zemněná a na druhou bylo přivedeno vf. napětí. K diagnostice byla použita vysokofrekvenčně kompenzovaná Langmuirova sonda s referenční sondou, nekompenzovaná napěťová sonda, dále pak hmotnostní a energiová analýza kladných iontů a neutrálního plynu a optická emisní spektroskopie. Spočítal jsem citlivost vstupní iontové optiky použitého hmotnostního a energiového analyzátoru (PPM 421 Balzers) a její závislost na energii iontů. V práci se věnuji studiu dvou režimů lišících se především potenciálem plazmatu. Skokový přechod mezi režimy není vázán pouze na vodíkové výboje. Je vyvolán změnou tlaku nebo vf. výkonu a vykazuje hysterezi. The main object of this work was the diagnostics of the low-pressure, high-frequency, capacitively coupled hydrogen plasma. The experiments were carried out in a spherical stainless steel reactor with two horizontally mounted, parallel, stainless steel electrodes of 80 mm in diameter. The upper electrode, embedded in a grounded ring, was driven at the frequency of 13.56 MHz. The bottom electrode was grounded. For diagnostic purposes I used the RF compensated Langmuir probe with a reference probe, an uncompensated potential probe, a positive ion mass and energy spectrometer (PPM 421 Balzers) and the optical emission spectroscopy. I calculated the energy-dependent transmission function of the entry ion optics of the PPM. Two regimes of discharge were studied. They differed mainly in the plasma potential, the dc voltage between the plasma and the powered electrode, the discharge asymmetry and the visual appearance of the discharge. The abrupt transition between the regimes was induced by a change of the gas pressure or the RF power and it showed a hysteresis. |
|---|---|
| Popis jednotky: | Vedoucí práce: Jan Janča. |
| Fyzický popis: | xiv, 110 s. |