Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje - Dvořák, Pavel, 1978- (2006)
Dizertační práce "Komplexní diagnostika reaktivního plazmatu doutnavého výboje" se věnuje převážně diagnostice nízkotlakého, vodíkového, vysokofrekvenčního (13,56\,MHz), kapacitně vázaného výboje. Experimenty byly prováděny v kulovém vakuovém reaktoru z nerezové oceli se dvěma rovnoběžnými kruhovými elektrodami, z nichž jedna byla zemněná a na druhou bylo přivedeno vf. napětí. K diagnostice byla použita vysokofrekvenčně kompenzovaná Langmuirova sonda s referenční sondou, nekompenzovaná napěťová sonda, dále pak hmotnostní a energiová analýza kladných iontů a neutrálního plynu a optická emisní spektroskopie. Spočítal jsem citlivost vstupní iontové optiky použitého hmotnostního a energiového analyzátoru (PPM 421 Balzers) a její závislost na energii iontů. V práci se věnuji studiu dvou režimů lišících se především potenciálem plazmatu. Skokový přechod mezi režimy není vázán pouze na vodíkové výboje. Je vyvolán změnou tlaku nebo vf. výkonu a vykazuje hysterezi.