Plasma diagnostics focused on new magnetron sputtering devices for thin film deposition

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Hlavní autor: Vašina, Petr, 1979- (Autor práce)
Další autoři: Tálský, Antonín, 1932- (Vedoucí práce)
Typ dokumentu: VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:Angličtina
Vydáno: 2005.
Témata:
fyzika plazmatu
tenké vrstvy
plasma physics
thin films
disertace
Obálka
Popis
Popis jednotky:Vedoucí práce: Antonín Tálský.
Fyzický popis:139 s.

Podobné jednotky