Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions /

Uloženo v:
Podrobná bibliografie
Další autoři: Rossnagel, Stephen M. (Editor), Cuomo, Jerome J. (Editor), Westwood, William D. (Editor)
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk:Angličtina
Vydáno: Norwich, N.Y. : Noyes Publications, c1990
Edice:Materials science and process technology series
Témata:
Pro rezervaci/výpůjčku fyzického dokumentu se přihlaste.
Popis Stav Knihovna Sbírka Signatura Poznámky Čárový kód
Dlouhodobá
do 2027-02-22
Přírodovědecká fakulta ÚK volný výběr A-10827 3145000336
Dostupné
Měsíční
Přírodovědecká fakulta ÚK volný výběr 533.9-HAND 3145347844