Popis: Studium plasmochemického leptání křemíku

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Hutař, Otakar (Autor práce)
Korporativní autor:	Univerzita J.E. Purkyně v Brně. Přírodovědecká fakulta
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	1980
Témata:	křemík plazma (fyzika) plazmochemické leptání ionized gases plasma (ionized gases) silicon rigorózní práce doctoral dissertations

Popis
Fyzický popis:	64 l., 29 l. obr. příl.