Popis: Plazmová depozice tenkých vrstev DLC:SiOx a jejich charakterizace

Uloženo v:

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Valtr, Miroslav, 1979- (Autor práce)
Typ dokumentu:	VŠ práce nebo rukopis
Jazyk:	Čeština
Vydáno:	2003.
Témata:	depozice tenkých vrstev plazma (fyzika) tenké vrstvy plasma (ionized gases) thin film deposition thin films diplomové práce master's theses

Popis
Fyzický popis:	69 l.