Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions /
Uloženo v:
| Další autoři: | , , |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Norwich, N.Y. :
Noyes Publications,
c1990
|
| Edice: | Materials science and process technology series
|
| Témata: |
| Fyzický popis: | xvi, 523 s. : il. |
|---|---|
| Bibliografie: | Obsahuje bibliografie a rejstřík |
| ISBN: | 0-8155-1220-1 |