Creation of thin oxide films in a microwave oxygen plasma /
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: | Angličtina |
| Vydáno: |
Praha :
Academia,
1983
|
| Edice: | Rozpravy Československé akademie věd. Řada matematických a přírodních věd,
roč. 93, sešit 3 |
| Témata: |
| Fyzický popis: | 86 s. |
|---|